عادةً ما يكون جهد الرش بالمغنترون المغنطروني حوالي -300 فولت.
يتم تطبيق هذا الجهد على الهدف في نظام رش المغنطرون المغنطروني.
الرش المغنطروني المغنطروني هو نوع من تقنيات ترسيب البخار الفيزيائي المستخدم لترسيب الأغشية الرقيقة من مادة مستهدفة صلبة على ركيزة.
ما هو جهد رش المغنطرون المغنطروني؟ (شرح 5 نقاط رئيسية)
1. تطبيق الجهد
عندما يتم تزويد المغنطرون بالطاقة، يتم تطبيق جهد سالب، عادةً حوالي -300 فولت، على الهدف.
يكون هذا الجهد سالبًا بالنسبة إلى بيئة البلازما المحيطة، والتي يتم الحفاظ عليها عند جهد موجب أعلى.
2. جذب الأيونات
يجذب الجهد السالب على الهدف أيونات موجبة من البلازما.
وعادة ما تكون هذه الأيونات هي أيونات الأرجون في نظام الاخرق، والتي تتولد عن طريق تأين غاز الأرجون داخل غرفة التفريغ.
3. نقل الطاقة والرشّ
عندما تصطدم هذه الأيونات الموجبة بسطح الهدف، فإنها تنقل الطاقة.
إذا كانت الطاقة المنقولة أكبر من حوالي ثلاثة أضعاف طاقة الارتباط السطحية للمادة الهدف (تساوي تقريباً حرارة التسامي)، يتم طرد الذرات من سطح الهدف، وهي عملية تُعرف باسم الاخرق.
4. استقرار البلازما وكفاءتها
تقطع الإلكترونات في البلازما مسافة أطول بسبب المجال المغناطيسي، مما يزيد من احتمال تأين المزيد من ذرات الأرجون والحفاظ على بلازما مستقرة ذات كثافة أيونات عالية.
ويسمح هذا التأين الفعال لعملية الاخرق بالعمل تحت ضغط أقل (حوالي 100 باسكال) وجهد أقل (حوالي -500 فولت) مقارنةً بالخرق التقليدي الذي قد يتطلب جهداً أعلى (بين -2 كيلو فولت إلى 3 كيلو فولت) وضغطاً أقل (حوالي 10 باسكال).
5. مزايا تشغيل الجهد المنخفض
يعد التشغيل بجهد منخفض (أقل من 1000 فولت) وتيارات عالية في الاخرق المغنطروني أكثر كفاءة من الاخرق بالديود الثنائي التيار المستمر.
وترجع هذه الكفاءة إلى دور المجال المغناطيسي في حصر الإلكترونات بالقرب من الهدف، مما يعزز التأين وبالتالي معدل الترسيب.
كما أن الفولتية المنخفضة تجعل الأقواس أقل عنفًا وأسهل في التعامل معها، وهو أمر بالغ الأهمية للحفاظ على سلامة عملية الترسيب وجودة الأفلام المترسبة.
باختصار، يعد جهد الاخرق في إعداد المغنطرون أمرًا حاسمًا لبدء عملية الاخرق والحفاظ عليها، بقيم نموذجية تبلغ حوالي -300 فولت.
ويسهّل إعداد الجهد هذا طرد ذرات المواد المستهدفة بكفاءة، مما يؤدي إلى ترسيب الأغشية الرقيقة ذات الخصائص الخاضعة للتحكم.
مواصلة الاستكشاف، استشر خبرائنا
اكتشف القدرات المتطورة لشركة KINTEK SOLUTION في تكنولوجيا الرش المغناطيسي!
تم تحسين أنظمتنا من أجل الدقة والكفاءة، حيث توفر جهد رش مغناطيسي يبلغ حوالي -300 فولت لتحقيق ترسيب الأغشية الرقيقة عالية الجودة.
وبفضل تصميماتنا المتقدمة وتكوينات المجال المغناطيسي المبتكرة، فإننا نعزز استقرار البلازما ونقل الطاقة، مما يضمن أداء لا مثيل له في مجال الاخرق.
جرب الفرق مع KINTEK SOLUTION - حيث يلتقي الابتكار مع الموثوقية لتصنيع الأغشية الرقيقة المتفوقة.
اعرف المزيد عن أنظمة الرش المغنطروني المغنطروني الخاصة بنا وارفع مستوى عملية ترسيب المواد لديك اليوم!
