يتم إنشاء البلازما في الاخرق من خلال عملية تسمى التأين الغازي.
وينطوي ذلك على إدخال غاز خامل منخفض الضغط، عادة ما يكون الأرجون، في غرفة تفريغ.
ثم يتم تطبيق جهد عالي على الغاز، مما يؤدي إلى تأيين الذرات وتكوين بلازما.
ويعتمد الجهد المطلوب على الغاز المستخدم وضغط الغاز، حيث يتطلب الأرجون عادةً حوالي 15.8 إلكترون فولت (eV) للتأين.
كيف يتم إنشاء البلازما في عملية الاخرق: شرح 5 خطوات رئيسية
1. إدخال الغاز الخامل
تنطوي الخطوة الأولى على إدخال غاز خامل منخفض الضغط، عادة ما يكون الأرجون، في غرفة تفريغ الهواء.
2. تطبيق الجهد العالي
يتم تطبيق جهد عالي على الغاز، مما يؤين الذرات ويخلق بلازما.
3. توليد البلازما بالقرب من المادة المستهدفة
يعد توليد البلازما أمرًا حاسمًا لعملية الاخرق لأنه يتيح قصف المادة المستهدفة بأيونات الغاز.
عندما يتم توليد البلازما بالقرب من المادة المستهدفة، تصطدم أيونات الغاز بسطح الهدف، مما يؤدي إلى إزاحة الذرات من السطح والتسبب في قذفها إلى المرحلة الغازية.
4. طرد الذرات وانتقالها
تنتقل هذه الذرات المقذوفة بعد ذلك عبر غاز الرش بالضغط المنخفض لتصل إلى الركيزة، حيث تتكثف وتشكل طبقة رقيقة.
5. تشكيل طبقة رقيقة
تتأثر كفاءة عملية الاصطرار، التي تتميز بعدد الذرات المستهدفة المقذوفة لكل أيون ساقط، بعدة عوامل بما في ذلك كتلة الأيونات وزاوية السقوط والذرات المستهدفة وطاقة الأيون الساقط.
ويُعد مردود الاخرق، الذي يختلف باختلاف ظروف الاخرق والمواد المستهدفة، معلمة رئيسية تحدد فعالية العملية.
مواصلة الاستكشاف، استشر خبرائنا
اكتشف الحلول المتطورة لاحتياجاتك في مجال الترسيب بالأغشية الرقيقة مع KINTEK SOLUTION.
صُممت أنظمة توليد البلازما المتقدمة الخاصة بنا، والتي تم ضبطها بدقة لتحقيق أفضل إنتاجية رش بالبلازما ومعدلات ترسيب مثالية، لتعزيز كفاءة وجودة عمليات البحث والإنتاج الخاصة بك.
ارفع من مستوى ترسيب بخار البلازما الخاص بك مع KINTEK SOLUTION - حيث يلتقي الابتكار مع الدقة.
اتصلوا بنا اليوم للحصول على عرض توضيحي لكيفية قيام تقنياتنا بإحداث ثورة في تطبيقات الأغشية الرقيقة الخاصة بكم!
