تتراوح سماكة طلاءات الرذاذ المستخدمة في الفحص المجهري الإلكتروني بالمسح الضوئي (SEM) عادةً من 2 إلى 20 نانومتر (نانومتر). يتم تطبيق هذه الطبقة الرقيقة للغاية من المعدن، عادةً ما تكون من الذهب أو الذهب/البلاديوم أو البلاتين أو الفضة أو الكروم أو الإيريديوم، على العينات غير الموصلة أو ضعيفة التوصيل لمنع الشحن وتعزيز نسبة الإشارة إلى الضوضاء عن طريق زيادة انبعاث الإلكترونات الثانوية.
شرح مفصل:
-
الغرض من طلاء الرذاذ:
-
يعد طلاء الرذاذ ضرورياً في SEM عند التعامل مع المواد غير الموصلة أو الحساسة للحزمة. يمكن أن تتراكم هذه المواد مجالات كهربائية ساكنة، مما يؤدي إلى تشويه عملية التصوير أو إتلاف العينة. يعمل الطلاء كطبقة موصلة، مما يمنع هذه المشكلات ويحسن جودة صور SEM من خلال تحسين نسبة الإشارة إلى الضوضاء.سُمك الطلاء:
-
تتراوح السماكة المثلى لطلاء الرذاذ في SEM بشكل عام بين 2 و20 نانومتر. بالنسبة إلى طلاءات SEM ذات التكبير المنخفض، تكون الطلاءات من 10 إلى 20 نانومتر كافية ولا تؤثر بشكل كبير على التصوير. ومع ذلك، بالنسبة لأجهزة SEM ذات التكبير الأعلى، خاصةً تلك التي تقل دقتها عن 5 نانومتر، من الضروري استخدام طلاءات أرق (رقيقة مثل 1 نانومتر) لتجنب حجب التفاصيل الدقيقة للعينة. تم تصميم أجهزة طلاء الرذاذ المتطورة المزودة بميزات مثل التفريغ العالي وبيئات الغاز الخامل وأجهزة مراقبة سماكة الفيلم لتحقيق هذه الطلاءات الدقيقة والرقيقة.
-
أنواع مواد الطلاء:
بينما تُستخدم المعادن مثل الذهب والفضة والبلاتين والكروم بشكل شائع، يتم استخدام الطلاءات الكربونية أيضًا، خاصةً في تطبيقات مثل التحليل الطيفي بالأشعة السينية وحيود التشتت الخلفي للإلكترون (EBSD)، حيث من المهم تجنب تداخل مادة الطلاء مع التحليل العنصري أو الهيكلي للعينة.
التأثير على تحليل العينة:
