يشير انتظام الفيلم إلى اتساق خصائص الفيلم عبر الركيزة، ويتعلق ذلك في المقام الأول بسماكة الفيلم ولكنه ينطبق أيضًا على خصائص أخرى مثل معامل الانكسار. إن تحقيق التوحيد الجيد أمر بالغ الأهمية لجودة الفيلم ووظائفه في مختلف التطبيقات.
توحيد سماكة الفيلم:
توحيد سماكة الفيلم هو جانب حاسم لجودة الفيلم. وهو يقيس مدى تساوي ترسب الفيلم على سطح الركيزة. وفي سياق طلاء الرذاذ، تنطوي العملية على استخدام الأيونات الساقطة التي يتم الحصول عليها من خلال طرق التفريغ الغازي. ويؤثر ضغط العمل داخل حجرة التفريغ، الذي يتراوح عادةً بين 10^-2 باسكال و10 باسكال، على التوحيد. أثناء عملية الطلاء بالرش، غالبًا ما تصطدم الأيونات بجزيئات الغاز، مما يتسبب في انحراف اتجاهها بشكل عشوائي. وتؤدي هذه العشوائية، بالإضافة إلى مساحة السطح المستهدفة الأكبر التي يحدث منها الاخرق إلى ترسيب أكثر اتساقًا بشكل عام مقارنة بطرق الطلاء بالتفريغ الأخرى. وهذا مهم بشكل خاص للأجزاء ذات الأشكال الهندسية المعقدة، مثل أخاديد الخطاف أو الدرجات، حيث يمكن أن يقلل التوحيد من الاختلافات في سمك الفيلم الناجم عن تأثير القطب السالب.توحيد خصائص الفيلم الأخرى:
إلى جانب السماكة، يمكن أن يشير التوحيد أيضًا إلى اتساق خصائص الفيلم الأخرى، مثل معامل الانكسار. فمعامل الانكسار هو خاصية بصرية يمكن قياسها باستخدام تقنيات مثل قياس الانكسار. وهو يوفر نظرة ثاقبة لكثافة الفيلم وثابت العزل الكهربائي وقياس التكافؤ. على سبيل المثال، في أغشية نيتريد السيليكون، يكون معامل الانكسار 2.0 مثاليًا. ويمكن أن تشير الانحرافات عن هذه القيمة إلى وجود شوائب أو اختلافات في تركيبة الفيلم، مما قد يؤثر على أدائه وموثوقيته.
تأثير طرق الترسيب:
