ما هو رش البلازما؟
رش البلازما هو تقنية تُستخدم لترسيب الأغشية الرقيقة على الركائز عن طريق إزاحة الذرات من مادة مستهدفة صلبة باستخدام بلازما غازية. وتُستخدم هذه العملية على نطاق واسع في صناعات مثل أشباه الموصلات والأقراص المدمجة ومحركات الأقراص والأجهزة البصرية نظراً للتوحيد الممتاز والكثافة والنقاء والالتصاق الممتاز للأغشية المرشوشة.
-
شرح تفصيلي:إنشاء البلازما:
-
يبدأ رش البلازما بخلق بيئة بلازما. ويتم تحقيق ذلك عن طريق إدخال غاز نبيل، عادةً الأرجون، في غرفة تفريغ الهواء وتطبيق جهد تيار مستمر أو جهد الترددات اللاسلكية. ويتأين الغاز، مما يشكل بلازما تتكون من ذرات غازية متعادلة وأيونات وإلكترونات وفوتونات في حالة شبه متعادلة. والطاقة الناتجة عن هذه البلازما ضرورية لعملية الاخرق.
-
عملية الاخرق:
-
في عملية الاخرق يتم قصف المادة المستهدفة بالأيونات من البلازما. وينقل هذا القصف الطاقة إلى ذرات الهدف، مما يؤدي إلى هروبها من السطح. ثم تنتقل هذه الذرات المنفلتة عبر البلازما وتترسب على الركيزة مكونة طبقة رقيقة. ويرجع اختيار الغازات الخاملة مثل الأرجون أو الزينون للبلازما إلى عدم تفاعلها مع المادة المستهدفة وقدرتها على توفير معدلات رش وترسيب عالية.معدل الاخرق:
-
يتأثر المعدل الذي يتم به رش المواد من الهدف بعدة عوامل بما في ذلك ناتج الاخرق والوزن المولي للهدف وكثافة المادة وكثافة التيار الأيوني. يمكن تمثيل هذا المعدل رياضياً وهو أمر بالغ الأهمية للتحكم في سمك وتوحيد الطبقة المترسبة.
التطبيقات:
