يشير تلف الرذاذ إلى تدهور أو تغيير سطح الركيزة أثناء عملية الرذاذ، ويرجع ذلك في المقام الأول إلى قصف الأنواع عالية الطاقة. هذا الضرر مهم بشكل خاص في ترسيب الأقطاب الكهربائية الشفافة على الأجهزة الإلكترونية الضوئية.
ملخص تلف الرذاذ:
يحدث تلف الاخرق عندما يتم قصف الركيزة بجسيمات نشطة أثناء عملية الاخرق. تصطدم هذه الجسيمات، التي عادةً ما تكون أيونات، بالركيزة بطاقة كافية لإزاحة الذرات أو التسبب في تغييرات هيكلية، مما يؤدي إلى تدهور السطح أو ضعف وظيفي.
-
الشرح التفصيلي:
- مشاركة الأنواع النشطة:
- أثناء عملية الاخرق، تصطدم الأيونات عالية الطاقة من البلازما بالمادة المستهدفة، مما يتسبب في طرد الذرات. ثم تترسب هذه الذرات المقذوفة على الركيزة مكونة طبقة رقيقة. ومع ذلك، فإن بعض هذه الأيونات النشطة تؤثر أيضًا بشكل مباشر على الركيزة.
-
والأنواع الرئيسية المشاركة في التسبب في تلف الرذاذ هي عادةً أيونات من البلازما، مثل أيونات الأرجون في حالة بلازما الأرجون المستخدمة في الترسيب بالرش. تحمل هذه الأيونات طاقات يمكن أن تتجاوز طاقة الترابط لمادة الركيزة، مما يؤدي إلى إزاحة الذرة أو تلفها.
- آلية التلف:
- عندما تصطدم هذه الأيونات النشطة بالركيزة، يمكنها نقل طاقة كافية إلى ذرات الركيزة للتغلب على قوى الترابط التي تبقيها في مكانها. وينتج عن ذلك إزاحة ذرات الركيزة، مما يخلق عيوبًا مثل الفجوات أو البينية أو حتى التسبب في تغييرات هيكلية أكثر تعقيدًا.
-
يمكن أن يشمل الضرر أيضًا دمج الغاز من البلازما في سطح الركيزة، مما يؤدي إلى شوائب أو تغييرات في التركيب الكيميائي للطبقة السطحية.
- التأثير على الأجهزة الإلكترونية الضوئية:
- في سياق الترسيب الكهربائي الشفاف، يمكن أن يؤثر تلف الرذاذ بشكل كبير على الخصائص البصرية والكهربائية للجهاز. على سبيل المثال، يمكن أن يؤدي ذلك إلى زيادة الامتصاص البصري أو انخفاض الشفافية أو تغيير التوصيل الكهربائي.
-
كما يمكن أن يؤثر التلف أيضًا على التصاق الفيلم المترسب بالركيزة، مما قد يؤدي إلى حدوث تفكك أو أعطال ميكانيكية أخرى.
- الوقاية والتخفيف:
- لتقليل أضرار الاخرق إلى الحد الأدنى، يمكن استخدام تقنيات مختلفة، مثل ضبط طاقة وتدفق الأيونات الساقطة، أو استخدام الطلاءات الواقية، أو استخدام التلدين بعد الترسيب لعلاج بعض الأضرار.
كما يمكن أن يساعد التحكم السليم في معلمات عملية الاخرق مثل اختيار غاز البلازما والضغط والمسافة بين الهدف والركيزة في تقليل شدة تلف الاخرق.المراجعة والتصحيح:
