الاصطرار في المعالجة بالبلازما هي عملية تقوم فيها بلازما عالية الطاقة بإزاحة الذرات من سطح مادة مستهدفة صلبة.
تُستخدم هذه العملية على نطاق واسع لترسيب أغشية رقيقة من المواد على ركائز لتطبيقات مختلفة في البصريات والإلكترونيات وغيرها.
7 نقاط أساسية لفهم عملية الاخرق في المعالجة بالبلازما
1. مقدمة في الاخرق
ينطوي الاخرق على إدخال غاز خاضع للتحكم، عادةً الأرجون، في غرفة تفريغ.
تحتوي الغرفة على مهبط، وهو المادة المستهدفة التي سيتم ترسيبها على الركائز.
2. توليد البلازما
عندما يتم تنشيط الكاثود كهربائياً، فإنه يولد بلازما مكتفية ذاتياً.
وداخل البلازما، تصبح ذرات الغاز أيونات موجبة الشحنة عن طريق فقدان الإلكترونات.
3. تسريع الأيونات
يتم بعد ذلك تسريع هذه الأيونات بطاقة حركية كافية لضرب المادة المستهدفة وخلع الذرات أو الجزيئات من سطحها.
4. تكوين تيار البخار
تشكل المادة المنزاحة تيار بخار يمر عبر الحجرة ويصطدم بالركائز ويلتصق على الركائز كطبقة رقيقة أو طلاء.
5. خطوات عملية الاخرق
- يتم تسريع أيونات الغاز الخامل، مثل الأرجون، إلى المادة المستهدفة.
- وتنقل الأيونات الطاقة إلى المادة المستهدفة، مما يؤدي إلى تآكلها وقذف الجسيمات المحايدة.
- تجتاز الجسيمات المحايدة من الهدف عبر الحجرة وتترسب كغشاء رقيق على سطح الركائز.
6. خصائص الأفلام المبثوقة
تُظهر الأفلام المرشوشة تجانساً وكثافة ونقاءً والتصاقاً ممتازاً.
وتسمح هذه التقنية بترسيب تركيبات دقيقة، بما في ذلك السبائك، عن طريق الرش بالمبخرة التقليدية.
يتيح الاخرق التفاعلي ترسيب مركبات مثل الأكاسيد والنتريدات.
7. الاخرق كعملية حفر
يُستخدم الاخرق أيضًا كعملية حفر لتغيير الخصائص الفيزيائية للسطح.
في هذه الحالة، يتم إنشاء تفريغ بلازما غازية بين مادة الطلاء بالكاثود والركيزة الأنود.
وعادةً ما تكون الرواسب التي يتم تشكيلها من خلال الاخرق رقيقة تتراوح بين 0.00005 و0.01 مم، ويمكن أن تشمل مواد مثل الكروم والتيتانيوم والألومنيوم والنحاس والموليبدينوم والتنغستن والذهب والفضة.
مواصلة الاستكشاف، استشر خبرائنا
هل تبحث عن معدات رش عالية الجودة لتلبية احتياجاتك من المعالجة بالبلازما؟ لا تبحث أكثر من KINTEK، مورد معدات المختبرات الموثوق به.
بفضل تقنيتنا المتقدمة وخبرتنا في مجال الاخرق، نقدم حلولاً موثوقة وفعالة لترسيب الأغشية الرقيقة في صناعات مثل الإلكترونيات والبصريات.
حقق أقصى قدر من الإنتاجية وحقق نتائج دقيقة مع أحدث معدات الرش الرقيق لدينا.
اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد عن منتجاتنا والارتقاء بمعالجة البلازما إلى المستوى التالي.
