يشير الرش في معالجة البلازما إلى العملية التي تقوم فيها البلازما عالية الطاقة بإزاحة الذرات من سطح المادة الصلبة المستهدفة. تُستخدم هذه العملية بشكل شائع لترسيب أغشية رقيقة من المواد على ركائز لتطبيقات مختلفة في مجال البصريات والإلكترونيات والمزيد.
تتضمن تقنية الرش إدخال غاز خاضع للرقابة، عادة الأرجون، إلى غرفة مفرغة. تحتوي الغرفة على الكاثود، وهو المادة المستهدفة التي سيتم ترسيبها على الركائز. عندما يتم تنشيط الكاثود كهربائيا، فإنه يولد بلازما ذاتية الاستدامة.
داخل البلازما، تصبح ذرات الغاز أيونات موجبة الشحنة عن طريق فقدان الإلكترونات. يتم بعد ذلك تسريع هذه الأيونات بطاقة حركية كافية لضرب المادة المستهدفة وخلع الذرات أو الجزيئات من سطحها. تشكل المادة التي تم إزاحتها تيارًا بخاريًا يمر عبر الحجرة ويضرب ويلتصق بالركائز كطبقة رقيقة أو طلاء.
تتضمن عملية الرش الخطوات التالية:
1. يتم تسريع أيونات الغاز الخامل، مثل الأرجون، إلى المادة المستهدفة.
2. تنقل الأيونات الطاقة إلى المادة المستهدفة، مما يؤدي إلى تآكلها وإخراج الجزيئات المحايدة.
3. تعبر الجزيئات المحايدة من الهدف عبر الحجرة وتترسب كطبقة رقيقة على سطح الركائز.
تعرض الأفلام المرقطة تجانسًا وكثافة ونقاء والتصاقًا ممتازًا. تسمح هذه التقنية بترسيب التراكيب الدقيقة، بما في ذلك السبائك، عن طريق الرش التقليدي. يتيح الرش التفاعلي ترسيب المركبات مثل الأكاسيد والنيتريدات.
يتم استخدام الاخرق أيضًا كعملية حفر لتغيير الخصائص الفيزيائية للسطح. في هذه الحالة، يتم إنشاء تفريغ بلازما الغاز بين مادة طلاء الكاثود والركيزة المصعدية. عادة ما تكون الرواسب المتكونة من خلال الاخرق رقيقة، وتتراوح من 0.00005 إلى 0.01 ملم، ويمكن أن تشمل مواد مثل الكروم والتيتانيوم والألومنيوم والنحاس والموليبدينوم والتنغستن والذهب والفضة.
هل تبحث عن معدات رش عالية الجودة لاحتياجات معالجة البلازما لديك؟ لا تنظر إلى أبعد من KINTEK، مورد معدات المختبرات الموثوق به. بفضل تقنيتنا المتقدمة وخبرتنا في الرش، نقدم حلولًا موثوقة وفعالة لترسيب الأغشية الرقيقة في صناعات مثل الإلكترونيات والبصريات. قم بزيادة إنتاجيتك إلى الحد الأقصى وحقق نتائج دقيقة باستخدام أحدث معدات الرش لدينا. اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد عن منتجاتنا والارتقاء بعلاج البلازما إلى المستوى التالي.
