يعود تاريخ الاخرق المغنطروني المغنطروني إلى منتصف القرن التاسع عشر مع الملاحظات الأولية لظاهرة الاخرق. ومع ذلك، لم يصبح الرش بالمغناطيسية ذا أهمية تجارية حتى منتصف القرن العشرين، خاصةً مع تطوير الرش بالمغناطيسية في أربعينيات القرن العشرين. وجاء التقدم الحقيقي في تكنولوجيا الاخرق مع إدخال تقنية الاخرق المغنطروني في السبعينيات، مما أدى إلى تحسن كبير في كفاءة العملية وقابليتها للتطبيق.
التطورات المبكرة (1850-1940):
لوحظت عملية الاخرق لأول مرة في خمسينيات القرن التاسع عشر، حيث تم استخدامها لترسيب المعادن الحرارية التي لا يمكن ترسيبها عن طريق التبخير الحراري. وتضمنت العملية استخدام تفريغ كهربائي لترسيب الأغشية المعدنية على مهبط بارد. كان هذا الشكل المبكر من الاخرق محدوداً ولم يتم اعتماده على نطاق واسع بسبب كفاءته المنخفضة وتكاليفه العالية.الأهمية التجارية و الاخرق الثنائي الصمام الثنائي (1940-1960):
شهدت أربعينيات القرن العشرين إدخال تقنية رش الصمام الثنائي الاخرق التي بدأت تجد تطبيقات تجارية كعملية طلاء. وعلى الرغم من اعتماده في البداية، إلا أن تقنية رش الصمام الثنائي لا تزال تواجه تحديات بسبب انخفاض معدلات الترسيب وارتفاع تكاليفها، مما يحد من استخدامها على نطاق واسع.
إدخال الاخرق المغنطروني (السبعينيات):
جاء الاختراق الحقيقي في تكنولوجيا الاخرق في منتصف السبعينيات مع تطوير تقنية الاخرق المغنطروني. وتضمنت هذه التقنية استخدام مجال مغناطيسي مغلق فوق سطح الهدف، مما عزز كفاءة توليد البلازما عن طريق زيادة احتمال حدوث تصادمات بين الإلكترونات وذرات الأرجون بالقرب من سطح الهدف. وقد أدى هذا الابتكار إلى زيادة معدلات الترسيب بشكل كبير وخفض التكاليف، مما جعل من تقنية الرش المغنطروني طريقة مفضلة لتطبيقات مختلفة في صناعات مثل الإلكترونيات الدقيقة والزجاج المعماري.
