عادةً ما تكون الركيزة المستخدمة في عملية الترسيب الكيميائي بالبخار CVD (الترسيب الكيميائي بالبخار) عبارة عن رقاقة.
يتم تعريض هذه الرقاقة لواحد أو أكثر من السلائف المتطايرة.
تتفاعل و/أو تتحلل هذه السلائف على سطح الركيزة لإنتاج الرواسب المطلوبة.
يمكن أن تكون هذه الرواسب عبارة عن أغشية رقيقة أو مواد محددة مستخدمة في صناعة أشباه الموصلات.
ما هي الركيزة لعملية التفريغ القابل للسحب القابل للذوبان (CVD)؟ 5 نقاط رئيسية يجب فهمها
1. طبيعة الركيزة
عادةً ما تكون الركيزة في عملية CVD عبارة عن رقاقة.
يمكن أن تكون مصنوعة من مواد مختلفة اعتمادًا على التطبيق.
تشمل الركائز الشائعة السيليكون والزجاج والمعادن المختلفة.
يعتمد اختيار مادة الركيزة على الخصائص المطلوبة في المنتج النهائي.
وتشمل هذه الخصائص التوصيل الكهربائي والاستقرار الحراري والقوة الميكانيكية.
2. التفاعل مع السلائف
أثناء عملية التفريغ القابل للذوبان بالقنوات CVD، تتعرض الركيزة للسلائف المتطايرة.
وهذه السلائف عبارة عن غازات أو أبخرة تحتوي على العناصر اللازمة للطلاء أو الفيلم المطلوب.
تتفاعل هذه السلائف مع الركيزة أو تتحلل عند التلامس مع الركيزة المسخنة.
ويؤدي ذلك إلى ترسب طبقة صلبة.
وعادةً ما تكون التفاعلات مدفوعة بالطاقة الحرارية.
ويمكن أيضًا استخدام طرق أخرى مثل البلازما أو الإثارة الكيميائية الضوئية لتعزيز معدلات التفاعل.
3. الدور في تكوين الطبقة الصلبة
تلعب الركيزة دورًا حاسمًا في تحديد جودة وخصائص الفيلم المترسب.
يمكن لعوامل مثل نظافة السطح ودرجة الحرارة ووجود أي عيوب سطحية أن تؤثر بشكل كبير على تنوي ونمو المادة المترسبة.
يعمل سطح الركيزة كقالب لبنية الفيلم.
وهذا يؤثر على بلورتها وحجم حبيباتها وشكلها العام.
4. إزالة المنتجات الثانوية
نظرًا لأن السلائف تتفاعل على الركيزة، فإنها غالبًا ما تنتج منتجات ثانوية متطايرة.
تتم إزالة هذه المنتجات الثانوية باستمرار من غرفة التفاعل عن طريق تدفق الغاز.
وهذا يضمن عدم تداخلها مع عملية الترسيب أو تدهور جودة الفيلم المترسب.
5. التباين في عمليات التفريد القابل للسحب بالأشعة البصرية
يمكن تعديل عملية CVD عن طريق تغيير الظروف التي يحدث فيها الترسيب.
وتشمل هذه الظروف الضغط (الضغط الجوي، أو الضغط المنخفض، أو التفريغ الفائق)، ودرجة الحرارة، واستخدام البلازما أو الإثارة الكيميائية الضوئية.
يمكن لهذه الاختلافات أن تُكيّف عملية الترسيب لتحقيق خصائص أفلام محددة أو لاستيعاب مواد الركيزة المختلفة والأشكال الهندسية.
مواصلة الاستكشاف، استشر خبرائنا
اكتشف الدقة والتحكم التي تجلبها ركائز KINTEK SOLUTION إلى عملية الحرق القابل للتحويل إلى سيراميك.
صُنعت مجموعتنا من الركائز عالية الجودة، بما في ذلك السيليكون والزجاج والمعادن، بدقة لتلبية المتطلبات الصارمة لتصنيع أشباه الموصلات.
اختبر أداءً لا مثيل له مع نظافة السطح المحسّنة والثبات الحراري المصمم خصيصًا والقوة الميكانيكية القوية.
كل ذلك مصمم للارتقاء بنتائج ترسيب الأغشية الرقيقة.
ثق في KINTEK SOLUTION لتقديم أفضل الركائز في الصناعة لتطبيقات ترسيب الأغشية الرقيقة الخاصة بك.
ارتقِ بعمليتك إلى آفاق جديدة مع KINTEK SOLUTION - شريكك في الهندسة الدقيقة.
