يمكن أن تختلف درجة حرارة بلازما الاخرق في المغنطرون المغنطروني اعتمادًا على ظروف العملية المحددة والمواد المستهدفة.
في عمليات الاخرق التفاعلية مع قدرة تبريد محدودة للهدف، يمكن أن تتراوح درجة الحرارة من 720 إلى 1210 درجة مئوية.
ويتم تحقيق نطاق درجة الحرارة هذا من خلال توليد نبضات بلازما بترددات تتراوح من 0.5 إلى 1 هرتز.
شرح 5 نقاط رئيسية
1. عملية الاخرق المغنطروني
الرش المغنطروني المغنطروني هو عملية يتم فيها تطبيق جهد سالب يبلغ عادةً -300 فولت أو أكثر على الهدف.
يجذب هذا الجهد السالب الأيونات الموجبة إلى سطح الهدف بسرعة عالية.
وعندما يصطدم الأيون الموجب بالذرات على سطح الهدف، يحدث انتقال للطاقة.
وإذا كانت الطاقة المنقولة إلى موقع شبكي أكبر من طاقة الارتباط، يمكن أن تنشأ ذرات ارتداد أولية.
ويمكن لهذه الذرات الارتدادية الأولية أن تتصادم مع ذرات أخرى وتوزع طاقتها عبر شلالات تصادم.
وتصبح الذرة السطحية متشظية إذا كانت الطاقة المنقولة إليها عموديًا على السطح أكبر من حوالي 3 أضعاف طاقة الارتباط السطحية.
2. دور المجال المغناطيسي
يسمح استخدام المجال المغناطيسي في الاخرق المغنطروني، المعروف باسم تأثير الاحتجاز، بزيادة معدلات التأين وترسيب الطلاء عند درجات حرارة منخفضة.
يتحكم المجال المغناطيسي في مسار انتقال البلازما والخطوط المغناطيسية المتكونة توجه البلازما من أحد طرفي الهدف إلى الطرف الآخر.
ويزيد مسار النقل هذا القائم على المجال المغناطيسي من كمية البلازما، مما يؤدي إلى تحسين الكفاءة في عملية الإنتاج.
ويشار إلى هذه الطريقة أحياناً باسم الاخرق المغنطروني المتوازن.
3. التحكم في درجة الحرارة
وباختصار، يمكن التحكم في درجة حرارة بلازما الاخرق في المغنطرون وتعديلها بناءً على ظروف ومتطلبات العملية المحددة.
ويسمح استخدام الجهد السالب والمجال المغناطيسي في الاخرق المغنطروني بالتأين الفعال وخرق الذرات المستهدفة.
وهذا يؤدي إلى ترسيب الأغشية الرقيقة على الركائز.
مواصلة الاستكشاف، استشر خبرائنا
هل تبحث عن معدات معملية عالية الجودة لتجارب بلازما الاخرق الخاصة بك؟ لا تبحث أكثر من KINTEK!
صُممت منتجاتنا المتطورة لتتحمل درجات الحرارة الشديدة ومتطلبات الطاقة الخاصة بالرش المغنطروني.
باستخدام معداتنا، يمكنك تحقيق تحكم دقيق في كثافة الأيونات ونقل الطاقة، مما يضمن الحصول على أفضل النتائج لأبحاثك.
لا تفوت فرصة الارتقاء بتجاربك إلى المستوى التالي. اتصل ب KINTEK اليوم واختبر الفرق بنفسك!
