يمكن إنشاء الأغشية الرقيقة باستخدام طرق مختلفة، مصنفة في المقام الأول إلى تقنيات الترسيب الكيميائي والفيزيائي. وتشمل الطرق الرئيسية ترسيب البخار الكيميائي (CVD)، وترسيب البخار الفيزيائي (PVD)، والطلاء بالدوران، والطلاء الكهربائي. وتوفر كل طريقة مزايا محددة من حيث نقاء الفيلم وتكوينه والتحكم في سمكه.
ترسيب البخار الكيميائي (CVD):
CVD هي طريقة يتم فيها تعريض الركيزة إلى سلائف متطايرة تتفاعل وتترسب على الركيزة لتكوين طبقة رقيقة. هذه التقنية مفيدة بشكل خاص لإنشاء أغشية رقيقة صلبة عالية النقاء وفعالة. يمكن أن تنتج تقنية CVD أفلامًا أحادية البلورة أو متعددة البلورات أو غير متبلورة، اعتمادًا على معايير العملية مثل درجة الحرارة والضغط ومعدلات تدفق الغاز. وتسمح القدرة على ضبط هذه المعلمات بتركيب مواد بسيطة ومعقدة على حد سواء في درجات حرارة منخفضة، مما يجعلها متعددة الاستخدامات لمختلف التطبيقات، خاصة في صناعة أشباه الموصلات.الترسيب الفيزيائي للبخار (PVD):
ينطوي الترسيب الفيزيائي بالتقنية الفيزيائية على تكثيف المواد المتبخرة من مصدر على ركيزة. وتتضمن هذه الطريقة تقنيات فرعية مثل التبخير والتبخير بالرش. في التبخير، يتم تسخين المواد إلى درجة تبخيرها ثم يتم تكثيفها على الركيزة. يتضمن الاخرق إخراج المواد من الهدف عن طريق قصفه بالأيونات التي تترسب بعد ذلك على الركيزة. تشتهر تقنية PVD بقدرتها على إنتاج أغشية شديدة الالتصاق وموحدة، وهي ضرورية للتطبيقات التي تتطلب المتانة والدقة.
الطلاء بالدوران:
الطلاء بالدوران هو تقنية تُستخدم في المقام الأول لترسيب أغشية رقيقة موحدة من البوليمرات والمواد الأخرى على ركائز مسطحة. في هذه العملية، يتم تطبيق محلول من المادة المراد ترسيبها على الركيزة التي يتم تدويرها بسرعة لنشر المحلول بالتساوي على السطح. ومع تبخر المذيب، يتبقى غشاء رقيق خلفه. هذه الطريقة مفيدة بشكل خاص لإنشاء أغشية متجانسة بسماكة متحكم بها، وهي ضرورية للتطبيقات في مجال الإلكترونيات والبصريات.
الطلاء الكهربائي:
