تشتمل مكونات MOCVD (الترسيب الكيميائي الكيميائي المعدني العضوي للبخار العضوي على نظام إمداد المصدر، ونظام نقل الغاز ونظام التحكم في التدفق، وغرفة التفاعل ونظام التحكم في درجة الحرارة، ونظام إنذار معالجة غاز الذيل وحماية السلامة ونظام التشغيل الأوتوماتيكي ونظام التحكم الإلكتروني. ويلعب كل مكون دورًا حاسمًا في التشغيل الدقيق والآمن لعملية الترسيب الكيميائي بالبخار الموزاييكانيكي.
نظام إمداد المصدر:
نظام الإمداد بالمصدر في عملية MOCVD مسؤول عن توفير السلائف المعدنية العضوية اللازمة والغازات التفاعلية. هذه السلائف عادةً ما تكون مركبات فلزية عضوية، ويمكن أن تشمل الغازات التفاعلية الهيدروجين أو النيتروجين أو الغازات الخاملة الأخرى. ويضمن النظام توصيل هذه المواد إلى غرفة التفاعل بطريقة محكومة، وهو أمر بالغ الأهمية لجودة نمو الأغشية الرقيقة وقابليتها للتكرار.نظام نقل الغاز والتحكم في التدفق:
هذا النظام جزء لا يتجزأ من خلط السلائف والغازات التفاعلية عند مدخل غرفة التفاعل. ويعمل تحت ظروف تدفق وضغط محكومة لضمان التوزيع والتركيز المناسبين للغازات. الدقة في تدفق الغازات ضرورية للحفاظ على التفاعلات الكيميائية المطلوبة أثناء عملية الترسيب.
غرفة التفاعل ونظام التحكم في درجة الحرارة:
غرفة التفاعل هي المكان الذي يحدث فيه الترسيب الفعلي للمواد على الركيزة. وعادةً ما تكون غرفة كوارتز ذات جدار بارد أو غرفة من الفولاذ المقاوم للصدأ تعمل تحت ضغط جوي أو ضغط منخفض. ويحافظ نظام التحكم في درجة الحرارة على الركيزة عند درجة حرارة دقيقة، تتراوح عادةً بين 500-1200 درجة مئوية، وهو أمر بالغ الأهمية لتفاعلات التحلل الحراري اللازمة لنمو الفيلم.نظام إنذار معالجة غاز الذيل والحماية من الغازات الخلفية:
نظرًا للطبيعة القابلة للاشتعال والانفجار والسامة للمواد المصدرية المستخدمة في MOCVD، فإن نظام معالجة الغازات المتخلفة ضروري للتعامل مع هذه الغازات وتحييدها بأمان بعد استخدامها في غرفة التفاعل. ويراقب نظام إنذار حماية السلامة النظام بحثًا عن أي مخاطر محتملة وينبه المشغلين إلى أي مشاكل، مما يضمن سلامة العملية.
