ترسيب البخار الكيميائي منخفض الضغط (LPCVD) هو تقنية تستخدم في صناعة الإلكترونيات لترسيب طبقات رقيقة من المواد على ركيزة باستخدام غازات تفاعلية عند ضغوط منخفضة. تشمل المواد الأساسية التي يتم ترسيبها باستخدام الترسيب الكيميائي بالضغط المنخفض البولي سيليكون ونتريد السيليكون وأكسيد السيليكون.
البولي سيليكون: البولي سيليكون هو مادة شائعة الاستخدام في عمليات LPCVD. ويتكون عن طريق تفاعل غازات مثل السيلان (SiH4) أو ثنائي كلورو السيليكون (SiH2Cl2) عند درجات حرارة تتراوح عادةً بين 600 درجة مئوية و650 درجة مئوية. ويُعد ترسيب البولي سيليكون أمرًا حاسمًا في تصنيع أجهزة أشباه الموصلات، لا سيما في تشكيل أقطاب البوابة والوصلات البينية.
نيتريد السيليكون: نيتريد السيليكون مادة أخرى يتم ترسيبها بشكل متكرر بواسطة LPCVD. وهي معروفة بخصائصها العازلة الممتازة ضد الرطوبة والملوثات الأخرى، مما يجعلها مثالية للاستخدام في طبقات التخميل وكعازل في المكثفات. وتتضمن عملية الترسيب عادةً تفاعل غازات مثل ثنائي كلورو سيلان (SiH2Cl2) والأمونيا (NH3) عند درجات حرارة تتراوح بين 700 درجة مئوية و800 درجة مئوية. ويكون الفيلم الناتج كثيفاً ويتمتع بثبات حراري وكيميائي جيد.
أكسيد السيليكون: غالبًا ما يستخدم أكسيد السيليكون في تقنية LPCVD لتطبيقات مثل عوازل البوابات والعازلات البينية. ويتم تكوينه عن طريق تفاعل الغازات مثل السيلان (SiH4) والأكسجين (O2) أو باستخدام رباعي إيثيل أورثوسيليكات السيليكات (TEOS) والأوزون (O3) عند درجات حرارة تتراوح بين 400 درجة مئوية و500 درجة مئوية. توفر طبقة أكسيد السيليكون عزلًا كهربائيًا جيدًا ويمكن دمجها بسهولة في عمليات تصنيع أشباه الموصلات المختلفة.
وتُفضَّل عمليات LPCVD لقدرتها على إنتاج أفلام موحدة وعالية الجودة مع إمكانية استنساخ جيدة. كما أن الضغط المنخفض المستخدم في هذه العمليات يقلل من تفاعلات طور البخار غير المرغوب فيها، مما يعزز من تجانس وجودة الأفلام المودعة. وبالإضافة إلى ذلك، يضمن التحكم الدقيق في درجة الحرارة في تقنية LPCVD التحكم الدقيق في درجة الحرارة في عملية LPCVD توحيدًا ممتازًا داخل الرقاقة ومن رقاقة إلى رقاقة ومن رقاقة إلى أخرى ومن تشغيل إلى آخر، وهو أمر بالغ الأهمية لأداء وموثوقية أجهزة أشباه الموصلات.
جرب دقة وموثوقية تقنية LPCVD من KINTEK SOLUTION، حيث تلتقي المعدات المتطورة والهندسة الخبيرة لتقديم أفلام موحدة وعالية الجودة للجيل القادم من أجهزة أشباه الموصلات. ارفع مستوى لعبة ترسيب المواد الخاصة بك مع حلولنا الموثوقة من البولي سيليكون ونتريد السيليكون وأكسيد السيليكون، وافتح إمكانيات جديدة في عمليات تصنيع أشباه الموصلات. اكتشف ميزة KINTEK وحوّل تقنيتك اليوم!
