الترسيب الكيميائي للبخار الكيميائي منخفض الضغط (LPCVD) هي تقنية تُستخدم في صناعة الإلكترونيات لترسيب طبقات رقيقة من المواد على ركيزة باستخدام غازات تفاعلية عند ضغوط منخفضة.
5 مواد رئيسية يجب أن تعرفها
1. البولي سيليكون
البولي سيليكون هو مادة شائعة الاستخدام في عمليات LPCVD.
وتتكون عن طريق تفاعل غازات مثل السيلان (SiH4) أو ثنائي كلورو السيليكون (SiH2Cl2) عند درجات حرارة تتراوح عادةً بين 600 درجة مئوية و650 درجة مئوية.
ويُعد ترسيب البولي سيليكون أمرًا حاسمًا في تصنيع أجهزة أشباه الموصلات، خاصةً في تشكيل أقطاب البوابة والوصلات البينية.
2. نيتريد السيليكون
نيتريد السيليكون مادة أخرى يتم ترسيبها بشكل متكرر بواسطة LPCVD.
وهي معروفة بخصائصها الحاجزة الممتازة ضد الرطوبة والملوثات الأخرى، مما يجعلها مثالية للاستخدام في طبقات التخميل وكعازل في المكثفات.
وتتضمن عملية الترسيب عادةً تفاعل الغازات مثل ثنائي كلورو سيلان (SiH2Cl2) والأمونيا (NH3) عند درجات حرارة تتراوح بين 700 درجة مئوية و800 درجة مئوية.
ويكون الفيلم الناتج كثيفًا ويتمتع بثبات حراري وكيميائي جيد.
3. أكسيد السيليكون
غالبًا ما يستخدم أكسيد السيليكون في تقنية LPCVD لتطبيقات مثل عوازل البوابات والعازلات البينية.
ويتكون عن طريق تفاعل غازات مثل السيلان (SiH4) والأكسجين (O2) أو باستخدام رباعي إيثيل أورثوسيليكات السيليكون (TEOS) والأوزون (O3) عند درجات حرارة تتراوح بين 400 درجة مئوية و500 درجة مئوية.
توفر طبقة أكسيد السيليكون عزلًا كهربائيًا جيدًا ويمكن دمجها بسهولة في عمليات تصنيع أشباه الموصلات المختلفة.
4. التوحيد والجودة
تُفضَّل عمليات LPCVD لقدرتها على إنتاج أفلام موحدة وعالية الجودة مع إمكانية استنساخ جيدة.
ويقلل الضغط المنخفض المستخدم في هذه العمليات من تفاعلات طور البخار غير المرغوب فيها، مما يعزز من تجانس وجودة الأفلام المودعة.
بالإضافة إلى ذلك، يضمن التحكّم الدقيق في درجة الحرارة في عملية LPCVD تماثلًا ممتازًا داخل الرقاقة، ومن رقاقة إلى رقاقة، ومن رقاقة إلى رقاقة، ومن تشغيل إلى تشغيل، وهو أمر بالغ الأهمية لأداء وموثوقية أجهزة أشباه الموصلات.
5. تقنية KINTEK SOLUTION's LPCVD
اختبر دقة وموثوقية تقنية LPCVD من KINTEK SOLUTION، حيث تلتقي المعدات المتطورة والهندسة الخبيرة لتقديم أفلام موحدة وعالية الجودة للجيل القادم من أجهزة أشباه الموصلات.
ارفع مستوى لعبة ترسيب المواد الخاصة بك مع حلولنا الموثوقة من البولي سيليكون ونتريد السيليكون وأكسيد السيليكون، وافتح إمكانيات جديدة في عمليات تصنيع أشباه الموصلات.
اكتشف ميزة KINTEK وحوّل تقنيتك اليوم!
مواصلة الاستكشاف، استشر خبرائنا
هل أنت مستعد للارتقاء بتصنيع أشباه الموصلات إلى المستوى التالي؟استشر خبرائنا لمعرفة المزيد عن تقنية LPCVD المتقدمة لدينا وكيف يمكن أن تفيد احتياجاتك الخاصة.اتصل بنا اليوم لتحديد موعد للاستشارة واستكشاف حلولنا المتطورة لاحتياجاتك من معدات المختبرات.
