إن رش الألومنيوم هو تطبيق محدد لعملية الرش بالمُرفرف، حيث يُستخدم الألومنيوم كمادة مستهدفة لترسيب الأغشية الرقيقة على ركائز مختلفة. والإسبترينج بشكل عام هو تقنية ترسيب تستخدم البلازما لإزاحة الذرات من مادة مستهدفة صلبة، والتي يتم ترسيبها بعد ذلك على ركيزة لتشكيل طبقة رقيقة. تُستخدم هذه العملية على نطاق واسع في تصنيع أشباه الموصلات والأجهزة البصرية وغيرها من المكونات عالية التقنية نظرًا لقدرتها على إنتاج أغشية ذات تجانس وكثافة ونقاء والتصاق ممتازين.
ملخص عملية رش الألومنيوم:
يتضمن رش الألومنيوم بالألومنيوم استخدام الألومنيوم كمادة مستهدفة في إعداد الرش. تحدث العملية في حجرة تفريغ حيث يتم إنشاء بلازما عن طريق تأيين غاز، عادةً ما يكون الأرجون. وبعد ذلك يتم تسريع أيونات الأرجون الموجبة الشحنة نحو هدف الألومنيوم، مما يؤدي إلى إخراج ذرات الألومنيوم من سطحه. وتنتقل ذرات الألومنيوم هذه عبر الفراغ وتترسب على الركيزة مكونة طبقة رقيقة وموحدة.
-
الشرح التفصيلي:إعداد غرفة التفريغ:
-
تبدأ العملية بوضع هدف الألومنيوم والركيزة في غرفة تفريغ الهواء. وتعد بيئة التفريغ ضرورية لمنع التلوث والسماح لذرات الألومنيوم بالانتقال دون عوائق إلى الركيزة.
-
إنشاء البلازما:
-
يتم إدخال غاز خامل، عادة ما يكون الأرجون، في الغرفة. ثم يقوم مصدر طاقة بعد ذلك بتأيين غاز الأرجون، مما يخلق بلازما. في حالة البلازما هذه، تفقد ذرات الأرجون الإلكترونات وتصبح أيونات موجبة الشحنة.عملية الاخرق:
-
يتم تسريع أيونات الأرجون الموجبة الشحنة بواسطة مجال كهربائي نحو هدف الألومنيوم. وعندما تصطدم بالهدف، تقوم بإزاحة ذرات الألومنيوم من سطحه من خلال انتقال الزخم. تُعرف هذه العملية باسم الترسيب الفيزيائي للبخار (PVD).
الترسيب على الركيزة:
