ترسيب البخار الكيميائي لبلازما الميكروويف (MPCVD) هو طريقة تركيبية تستخدم لتخليق فيلم الماس. وهو ينطوي على استخدام إشعاع الميكروويف لتوليد بلازما عالية الطاقة في غرفة المفاعل. تتكون البلازما من خليط من الإلكترونات والأيونات الذرية والأيونات الجزيئية والذرات المحايدة والجزيئات والشظايا الجزيئية في حالتها الأرضية والمثارة. الطريق الرئيسي لتوليد السلائف/الشظايا الغازية التفاعلية في البلازما هو تفكك تأثير الإلكترون.
في عملية MPCVD، يتم إدخال غاز يحتوي على الكربون، مثل الميثان، إلى غرفة المفاعل مع غازات أخرى مثل ذرات الهيدروجين، أو الأكسجين، أو الفلور. مولد الموجات الدقيقة، عادة ما يكون مغناطيسيًا أو كليسترون، يولد موجات ميكروويف في نطاق 2.45 جيجا هرتز، والتي تقترن بغرفة التفريغ من خلال نافذة كوارتز. يتحكم نظام توصيل الغاز، الذي يتكون من وحدات التحكم في التدفق الشامل (MFCs)، في تدفق الغاز إلى غرفة التفريغ.
تحت إثارة إشعاع الميكروويف، يتعرض خليط الغاز لتفريغ متوهج في غرفة التفاعل، مما يؤدي إلى التفكك الجزيئي لغاز التفاعل وتوليد البلازما. تتفاعل البلازما أو تتحلل على سطح الركيزة، منتجة رواسب من فيلم الماس. تؤدي عملية الترسيب إلى إنتاج أفلام ماسية عالية الجودة بمساحات كبيرة وتجانس جيد ونقاء عالي وتشكل بلوري جيد.
تشمل مزايا MPCVD قدرته على تحضير ألماس كريستالي فردي كبير الحجم وإنتاج كرات بلازما كبيرة وثابتة في غرفة الترسيب، مما يتيح ترسيب أفلام الماس على مساحة كبيرة. توفر طريقة بلازما الميكروويف أيضًا تحكمًا فائقًا في عملية الترسيب مقارنة بالطرق الأخرى مثل طريقة اللهب.
بشكل عام، MPCVD هي تقنية تستخدم البلازما المستحثة بالموجات الدقيقة والسلائف الغازية التفاعلية لترسيب أفلام الماس بجودة عالية وخصائص محددة.
هل تبحث عن تركيب فيلم ماسي عالي الجودة؟ اكتشف قوة ترسيب البخار الكيميائي للبلازما في الميكروويف (MPCVD) مع KINTEK! تضمن معداتنا وتقنياتنا المتطورة مساحات كبيرة وتجانسًا جيدًا ونقاءً عاليًا وتشكلًا بلوريًا ممتازًا. قل وداعًا للأساليب القديمة واطلق العنان لإمكانات MPCVD لتلبية احتياجات أفلام الألماس الخاصة بك. اتصل بنا اليوم للحصول على مزيد من المعلومات وإحداث ثورة في عملية ترسيب الماس!
