الترسيب الكيميائي للبخار بالبلازما بالموجات الدقيقة (MPCVD) هو طريقة تخليق تستخدم لتخليق غشاء الماس.
وهي تنطوي على استخدام إشعاع الموجات الدقيقة لتوليد بلازما عالية الطاقة في غرفة مفاعل.
وتتكون البلازما من خليط من الإلكترونات والأيونات الذرية والأيونات الجزيئية والذرات المحايدة والجزيئات والأجزاء الجزيئية في حالتيها الأرضية والمثارة.
ويتمثل المسار الرئيسي لتوليد السلائف/الشظايا الغازية التفاعلية في البلازما في تفكك الصدمة الإلكترونية.
شرح 4 نقاط رئيسية
1. عملية التفكك الكهروضوئي المتعدد الكهرومغناطيسي
في عملية MPCVD، يتم إدخال غاز يحتوي على الكربون، مثل الميثان، في غرفة المفاعل مع غازات أخرى مثل الهيدروجين أو الأكسجين أو ذرات الفلور.
يولد مولد الموجات الدقيقة، وهو عادةً مولد مغنطروني أو كليسترون، موجات دقيقة في نطاق 2.45 جيجاهرتز، والتي تقترن بغرفة التفريغ من خلال نافذة كوارتز.
يتحكم نظام توصيل الغاز، الذي يتكون من وحدات التحكم في التدفق الكتلي (MFCs)، في تدفق الغاز إلى غرفة التفريغ.
2. توليد البلازما وتفاعلها
تحت إثارة إشعاع الميكروويف، يخضع خليط الغاز لتفريغ توهج في غرفة التفاعل، مما يؤدي إلى التفكك الجزيئي لغاز التفاعل وتوليد البلازما.
تتفاعل البلازما أو تتحلل على سطح الركيزة، مما ينتج عنه ترسب طبقة من الماس.
وينتج عن عملية الترسيب أفلام ألماس عالية الجودة بمساحات كبيرة وتجانس جيد ونقاء عالٍ ومورفولوجيا بلورية جيدة.
3. مزايا تقنية التفريغ الكهروضوئي المتعدد الأبعاد
تشمل مزايا تقنية MPCVD قدرتها على تحضير ألماس أحادي البلورة كبير الحجم وإنتاج كرات بلازما كبيرة ومستقرة في غرفة الترسيب، ما يتيح ترسيب أغشية الماس على مساحة كبيرة.
وتوفّر طريقة بلازما الموجات الدقيقة أيضاً تحكماً فائقاً في عملية الترسيب مقارنةً بالطرق الأخرى مثل طريقة اللهب.
4. أفلام الماس عالية الجودة
بشكل عام، تُعدّ تقنية MPCVD تقنية تستخدم البلازما المستحثة بالموجات الدقيقة والسلائف الغازية التفاعلية لترسيب أفلام الماس بجودة عالية وخصائص محددة.
مواصلة الاستكشاف، استشر خبرائنا
هل تبحث عن تركيب أفلام ألماس عالية الجودة؟ اكتشف قوة الترسيب الكيميائي للبخار بالبلازما بالموجات الدقيقة (MPCVD) مع KINTEK!
تضمن معداتنا وتقنيتنا المتطورة مساحات كبيرة وتجانسًا جيدًا ونقاءً عاليًا ومورفولوجيا بلورية ممتازة.
قل وداعًا للطرق القديمة وأطلق العنان لإمكانات MPCVD لتلبية احتياجاتك من الأفلام الماسية.
اتصل بنا اليوم لمزيد من المعلومات وأحدث ثورة في عملية ترسيب الماس لديك!
