يتضمن طلاء الرذاذ لـ SEM تطبيق طبقة معدنية رقيقة للغاية موصلة للكهرباء على عينات غير موصلة للكهرباء أو ضعيفة التوصيل لمنع الشحن وتحسين جودة التصوير. وتستخدم هذه العملية معادن مثل الذهب أو البلاتين أو الفضة أو الكروم، وعادةً ما تكون بسماكة تتراوح بين 2-20 نانومتر. تشمل الفوائد تقليل تلف الشعاع، وتحسين التوصيل الحراري، وتقليل شحن العينة، وتحسين انبعاث الإلكترونات الثانوية، وتحسين دقة الحواف وحماية العينات الحساسة للشعاع.
شرح مفصل:
-
تطبيق الطلاء المعدني:
-
يتضمن طلاء الرذاذ ترسيب طبقة رقيقة من المعدن على العينة. وهذا أمر بالغ الأهمية بالنسبة للعينات غير الموصلة للكهرباء، حيث إنها قد تتراكم عليها مجالات كهربائية ساكنة أثناء تحليل المجهر الإلكتروني بالمسح الضوئي (SEM). وتشمل المعادن التي يشيع استخدامها لهذا الغرض الذهب والبلاتين والفضة والكروم وغيرها، والتي يتم اختيارها لتوصيلها وقدرتها على تشكيل أغشية رقيقة مستقرة.منع الشحن:
-
يمكن للمواد غير الموصلة في جهاز SEM أن تطور شحنة بسبب التفاعل مع حزمة الإلكترونات، والتي يمكن أن تشوه الصورة وتتداخل مع التحليل. تساعد الطبقة المعدنية الموصلة المطبقة من خلال طلاء الرذاذ على تبديد هذه الشحنة، مما يضمن الحصول على صورة واضحة ودقيقة.
-
تعزيز انبعاث الإلكترون الثانوي:
- يعزز الطلاء المعدني أيضًا انبعاث الإلكترونات الثانوية من سطح العينة. تُعد هذه الإلكترونات الثانوية ضرورية للتصوير في SEM، وتعمل زيادة انبعاثها على تحسين نسبة الإشارة إلى الضوضاء، مما يؤدي إلى الحصول على صور أكثر وضوحًا وتفصيلاً.
- فوائد عينات SEM:تقليل تلف شعاع المجهر:
- يساعد الطلاء المعدني على حماية العينة من التأثيرات الضارة لحزمة الإلكترونات.زيادة التوصيل الحراري:
- تساعد الطبقة الموصلة في تبديد الحرارة الناتجة عن حزمة الإلكترونات، مما يحمي العينة من التلف الحراري.تقليل شحن العينة:
- كما ذكرنا، تمنع الطبقة الموصلة تراكم الشحنات الكهروستاتيكية.تحسين انبعاث الإلكترون الثانوي:
- يعمل ذلك على تحسين جودة صور SEM بشكل مباشر.تقليل اختراق الحزمة مع تحسين دقة الحواف:
-
تقلل الطبقة المعدنية الرقيقة من عمق اختراق حزمة الإلكترونات، مما يحسن دقة الحواف والتفاصيل الدقيقة في الصورة.حماية العينات الحساسة للحزمة:
يعمل الطلاء كدرع للمواد الحساسة، مما يمنع التعرض المباشر لحزمة الإلكترونات.
سماكة الأغشية المبثوقة:
