تتضمن عملية الترسيب الكيميائي للبخار الكيميائي منخفض الضغط (LPCVD) لنيتريد السيليكون ترسيب طبقة نيتريد السيليكون عالية الجودة والكثيفة وغير المتبلورة على الركيزة.
وتُعد هذه العملية ضرورية في تصنيع أشباه الموصلات لمختلف التطبيقات، خاصةً في إنشاء الأقنعة والطبقات العازلة.
ما هي عملية نيتريد السيليكون بتقنية LPCVD؟ شرح 5 خطوات رئيسية
1. اختيار غاز السلائف
يعد اختيار ثنائي كلورو السيلان والأمونيا كغازات سليفة أمرًا بالغ الأهمية لأنهما يتفاعلان في ظروف LPCVD لتكوين نيتريد السيليكون.
يوفر ثنائي كلورو سيلان (SiH2Cl2) مصدر السليكون، بينما توفر الأمونيا (NH3) النيتروجين.
2. ظروف التفاعل
يتم إجراء التفاعل في بيئة منخفضة الضغط، عادةً ما يتراوح بين 0.1 إلى 1 تور، مما يسهل الترسيب المنتظم عبر الركيزة.
تضمن درجة الحرارة المرتفعة (700-800 درجة مئوية) التفاعل الكامل للغازات السليفة وتعزز تكوين طبقة كثيفة وموحدة من نيتريد السيليكون.
3. آلية الترسيب
في المفاعل، تتدفق غازات السلائف فوق الركيزة المسخنة حيث تتحلل حرارياً وتتفاعل لتكوين نيتريد السيليكون (Si3N4).
يمكن تلخيص التفاعل على النحو التالي: [3SiH2Cl2 + 4NH3 → Si3N4 + 6HCl + 6H2]
تتم إزالة حمض الهيدروكلوريك والهيدروجين كغازات عادم، تاركين وراءهما طبقة نيتريد السيليكون النقية على الركيزة.
4. التطبيقات والخصائص
طبقة نيتريد السيليكون التي تنتجها تقنية LPCVD غير متبلورة وكثيفة ومستقرة كيميائياً، مما يجعلها مثالية لمختلف التطبيقات في تصنيع أشباه الموصلات.
وهي بمثابة قناع للأكسدة الانتقائية للسيليكون (LOCOS)، وقناع صلب لعزل الخنادق الضحلة، وطبقة عازلة في المكثفات (على سبيل المثال، في DRAMs).
تُظهر الطبقة عادةً إجهاد شد عالٍ، والذي يمكن تعديله وفقًا للمتطلبات المحددة للتطبيق.
5. التحديات والتحكم
تتطلب هذه العملية تحكماً دقيقاً في درجة الحرارة والضغط ومعدلات تدفق الغاز لضمان ترسيب موحد ومنع العيوب.
في مفاعل الجدار الساخن، يجب تعويض تأثيرات النضوب في مفاعل الجدار الساخن للحفاظ على جودة غشاء متناسقة عبر الركيزة.
مواصلة الاستكشاف، استشر خبرائنا
أطلق العنان لقوة الدقة في عمليات أشباه الموصلات الخاصة بك مع معدات LPCVD من KINTEK SOLUTION.
اختبر تحكمًا وكفاءة لا مثيل لهما في إنتاج طبقات كثيفة غير متبلورة من نيتريد السيليكون التي تمهد الطريق لتطبيقات أشباه الموصلات المتفوقة.
ثق في تقنيتنا المتطورة وخبرتنا لرفع قدراتك التصنيعية.
اتصل بنا اليوم لاكتشاف كيف يمكن أن تكون KINTEK SOLUTION شريكك في الابتكار!
