عملية الاخرق لمعالجة السطح هي تقنية الترسيب الفيزيائي للبخار (PVD). وهي تنطوي على طرد الذرات من مادة مستهدفة صلبة. ثم يتم ترسيب هذه الذرات كطبقة رقيقة على الركيزة. تستخدم العملية بلازما غازية، وهي عبارة عن غاز مؤين جزئيًا.
ما هي عملية الاخرق لمعالجة السطح؟ شرح 7 خطوات رئيسية
1. إعداد غرفة التفريغ
يتم إعداد غرفة تفريغ الهواء. يتم وضع مادة الطلاء المستهدفة (الكاثود) والركيزة (الأنود) داخل هذه الغرفة.
2. إدخال الغاز الخامل
يتم إدخال غاز خامل، مثل الأرجون أو النيون أو الكريبتون، في الغرفة. سيشكل هذا الغاز البلازما اللازمة لعملية الاخرق.
3. تأيين الغاز
يطبق مصدر طاقة فرق الجهد أو الإثارة الكهرومغناطيسية لتأيين ذرات الغاز. وهذا يعطيها شحنة موجبة.
4. جذب الأيونات الموجبة
تنجذب أيونات الغاز الموجبة الشحنة نحو المادة الهدف السالبة الشحنة. تصطدم هذه الأيونات بسطح الهدف، فتنقل طاقتها وتتسبب في طرد الذرات من المادة الهدف.
5. الذرات المقذوفة في الحالة المحايدة
تكون الذرات المقذوفة من المادة الهدف في حالة محايدة. تجتاز هذه الذرات عبر غرفة التفريغ.
6. ترسيب الغشاء الرقيق
تترسب الذرات المحايدة بعد ذلك على سطح الركيزة مكونة طبقة رقيقة. وتتميز الطبقة الرقيقة المرشوشة بالتجانس والكثافة والنقاء والالتصاق.
7. التحكم في معدل الاخرق
يعتمد معدل الرش بالرش، وهو المعدل الذي يتم فيه إخراج الذرات من الهدف وترسيبها على الركيزة، على عوامل مختلفة. وتشمل هذه العوامل التيار وطاقة الحزمة والخصائص الفيزيائية للمادة المستهدفة.
يُستخدم الاخرق على نطاق واسع في مختلف الصناعات لمعالجة الأسطح وترسيب الأغشية الرقيقة. ويُستخدم عادةً في ترسيب الأغشية الرقيقة لأشباه الموصلات والأقراص المدمجة ومحركات الأقراص والأجهزة البصرية. وتسمح هذه التقنية بإنتاج سبائك ومركبات دقيقة التركيب عن طريق الاخرق التفاعلي. تتميز الأفلام الناتجة بخصائص ممتازة ويمكن استخدامها في مجموعة من التطبيقات.
مواصلة الاستكشاف، استشر خبرائنا
هل تبحث عن معدات رش تفاعلي عالية الجودة لتلبية احتياجاتك من المعالجة السطحية؟ لا تبحث أكثر من KINTEK! توفر أنظمة الاخرق المتطورة الخاصة بنا اتساقًا وكثافة ونقاءً والتصاقًا ممتازًا لترسيب الأغشية الرقيقة على الركائز. سواء كنت تعمل في صناعة أشباه الموصلات أو الأقراص المدمجة أو محركات الأقراص أو الأجهزة البصرية، فإن معداتنا مصممة لتلبية متطلباتك. عزز عمليات المعالجة السطحية الخاصة بك مع KINTEK.اتصل بنا اليوم للحصول على استشارة!
