فريق التقنية · Kintek Solution

ما هي تقنية الترسيب بالتبخير الحراري بالتفريغ؟

ملخص:

التبخر الحراري بالتفريغ هو تقنية الترسيب الفيزيائي للبخار (PVD) حيث يتم تسخين المادة في غرفة تفريغ الهواء حتى تتبخر ثم تتكثف على الركيزة. تُستخدم هذه العملية لترسيب أغشية رقيقة من المادة على ركيزة في بيئة محكومة بضغط غاز منخفض لضمان وصول المادة المتبخرة إلى الركيزة دون حدوث تصادمات.

1. الشرح التفصيلي:إعداد العملية:

2. تبدأ العملية بغرفة تفريغ، عادةً ما تكون مصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ، والتي تضم بوتقة أو قارب مصنوع من مواد حرارية مثل التنجستن أو الموليبدينوم. يتم وضع المادة المراد ترسيبها (المبخر) داخل هذه البوتقة.

3. التسخين والتبخير:

4. يتم تسخين المادة باستخدام التيار الكهربائي أو أشعة الإلكترون. ويستمر هذا التسخين حتى تكتسب ذرات سطح المادة طاقة كافية لمغادرة السطح، وتتحول إلى بخار. يجب أن يصل ضغط بخار المادة إلى 10 mTorr على الأقل للترسيب الفعال.الترسيب في الفراغ:

5. تُعد بيئة التفريغ ضرورية لأنها تضمن انتقال المادة المتبخرة إلى الركيزة دون الاصطدام بجزيئات الغاز. يتم الحفاظ على الضغط داخل الحجرة عند مستوى يكون فيه متوسط المسار الحر للجسيمات المتبخرة أطول من المسافة بين المصدر والركيزة، وعادةً ما يتراوح بين 10^-5 إلى 10^-9 تور.

طلاء الركيزة:

تتكثف المادة المتبخرة على الركيزة مكونة طبقة رقيقة. عادةً ما يتم وضع الركيزة فوق المادة المتبخرة، ويكون الترسيب "خط الرؤية"، مما يعني أن البخار يتبع مسارًا مباشرًا من المصدر إلى الركيزة.