تتضمن عملية ترسيب البخار الكيميائي العضوي المعدني (MOCVD) عدة خطوات حاسمة تتيح ترسيب مواد أشباه الموصلات عالية الجودة. وتتضمن هذه الخطوات اختيار السلائف وإدخالها، وتوصيل الغاز وخلطه، وعملية الترسيب الفعلية. وكل خطوة من هذه الخطوات ضرورية لتحقيق تحكم دقيق في تركيبة وخصائص الأفلام المترسبة.
اختيار السلائف والمدخلات:
الخطوة الأولى في عملية MOCVD هي اختيار السلائف المعدنية العضوية المناسبة وغازات التفاعل. يتم اختيار السلائف، وهي مركبات فلزية عضوية، بناءً على المادة المرغوب ترسيبها. تحتوي هذه السلائف عادةً على مركز فلزي مرتبط بواحد أو أكثر من الروابط العضوية. وتُستخدم غازات التفاعل، وهي عادةً الهيدروجين أو النيتروجين أو غازات خاملة أخرى، لنقل هذه السلائف إلى غرفة التفاعل. ويعد اختيار السلائف والغازات أمراً بالغ الأهمية لأنه يؤثر بشكل مباشر على جودة وخصائص المادة المترسبة.توصيل الغاز والخلط:
بمجرد اختيار السلائف والغازات، يتم خلطها عند مدخل غرفة التفاعل. وعادة ما يتم التحكم في هذا الخلط لضمان معدلات تدفق وضغط دقيقين، وهو أمر ضروري للحفاظ على عملية ترسيب متسقة. يتم بعد ذلك إدخال الخليط في غرفة التفاعل حيث تتحلل السلائف حرارياً أو يتم تنشيطها، وغالباً ما يتم ذلك من خلال استخدام البلازما أو الضوء.
عملية الترسيب:
في حجرة التفاعل، يتفاعل المركز المعدني للسلائف مع جزيئات السلائف الأخرى أو الركيزة لتشكيل المادة المطلوبة. وخلال هذه العملية، يتم إطلاق الروابط العضوية كمنتجات ثانوية. وتُعد عملية MOCVD فعالة بشكل خاص في ترسيب أشباه الموصلات المركبة، والأفلام العازلة عالية الجودة، والأفلام المعدنية في أجهزة CMOS. وتسمح هذه العملية بالتحكم الدقيق في التركيب ومستويات التخدير، وهو أمر بالغ الأهمية لأداء الأجهزة النهائية.التحكم المتقدم والدقة:
