الشكل الكامل لمفاعل الترسيب الكيميائي بالترسيب القابل للسحب القابل للذوبان CVD هو مفاعل الترسيب الكيميائي للبخار.
مفاعل الترسيب بالترسيب الكيميائي القابل للسحب بالأقفال هو نظام متخصص يستخدم لترسيب الأغشية الرقيقة على الركيزة.
وهو يتضمن سلسلة من المكونات بما في ذلك نظام توصيل الغاز، وحجرة المفاعل، وآلية تحميل الركيزة، ومصدر الطاقة، ونظام التفريغ، ونظام العادم، وأنظمة معالجة العادم.
ويعمل المفاعل عن طريق إدخال السلائف في الغرفة حيث تتفاعل أو تتحلل لترسيب طبقة من المواد على الركيزة.
شرح 7 مكونات رئيسية
1. نظام توصيل الغاز
يوفر هذا المكون السلائف اللازمة لحجرة المفاعل.
وعادة ما تكون هذه السلائف عبارة عن غازات تحتوي على العناصر اللازمة لعملية الترسيب.
2. غرفة المفاعل
هذا هو الجزء الأساسي من نظام CVD حيث يتم الترسيب الفعلي.
تم تصميم الحجرة للحفاظ على ظروف محددة مثل درجة الحرارة والضغط وتكوين الغاز لتسهيل التفاعل.
3. آلية تحميل الركيزة
هذا النظام مسؤول عن إدخال الركائز وإزالتها داخل وخارج غرفة المفاعل.
ويضمن وضع الركائز بشكل صحيح لعملية الترسيب.
4. مصدر الطاقة
يوفر مصدر الطاقة الحرارة أو الطاقة اللازمة لبدء التفاعلات الكيميائية التي تؤدي إلى الترسيب والحفاظ عليها.
ويمكن أن يكون ذلك في شكل تسخين مقاوم أو تسخين استقرائي أو طاقة الموجات الدقيقة كما هو الحال في نظام MW-CVD.
5. نظام التفريغ
هذا النظام ضروري للحفاظ على بيئة نظيفة داخل المفاعل عن طريق إزالة الغازات غير المرغوب فيها والحفاظ على ضغط منخفض.
وهذا يساعد في التحكم في ظروف التفاعل وتحسين جودة الفيلم المترسب.
6. نظام العادم
بعد التفاعل، تتم إزالة المنتجات الثانوية المتطايرة من غرفة المفاعل من خلال هذا النظام.
ويضمن عدم تداخل المنتجات الثانوية مع عملية الترسيب الجارية.
7. أنظمة معالجة العادم
في بعض الحالات، قد تحتوي غازات العادم على مواد ضارة أو سامة تحتاج إلى معالجة قبل إطلاقها في البيئة.
تقوم هذه الأنظمة بتحويل هذه الغازات إلى مركبات غير ضارة.
مواصلة الاستكشاف، استشر خبرائنا
اكتشف دقة وكفاءة مفاعلات KINTEK SOLUTION المتطورة في مجال التفكيك القابل للذوبان في الماء.
حيث تتوافق التكنولوجيا المتطورة مع أعلى معايير الجودة لترسيب الأغشية الرقيقة.
تم تصميم مجموعتنا الشاملة من أنظمة التفريغ CVD، التي تتميز بتوصيل الغاز المتقدم، وغرف المفاعلات الدقيقة، وأنظمة التفريغ والعادم الموثوقة، لتعزيز عمليات البحث والإنتاج الخاصة بك.
جرب فرق KINTEK وارتقِ بقدراتك في ترسيب الأغشية الرقيقة اليوم!
