PECVD، أو ترسيب البخار الكيميائي المعزز بالبلازما، هي عملية تسمح بمعدلات ترسيب عالية في درجات حرارة منخفضة نسبيًا.
لماذا يمكن لعملية PECVD تحقيق معدلات ترسيب عالية في درجات حرارة منخفضة نسبيًا؟ شرح 7 مزايا رئيسية
1. استخدام طاقة البلازما
يستخدم PECVD البلازما لتوفير الطاقة لتفاعلات الترسيب.
وهذا يلغي الحاجة إلى تسخين الركيزة إلى درجات حرارة عالية، وهو أمر مطلوب في عمليات التفريغ القابل للذوبان في البلازما التقليدية.
تخلق البلازما بيئة عالية الطاقة حيث يمكن للغازات المتفاعلة أن تتفكك وتتفاعل بسهولة، مما يؤدي إلى معدلات ترسيب أسرع.
2. بيئة منخفضة الضغط
تعمل عملية PECVD في بيئة منخفضة الضغط.
وهذا يساعد في تحقيق معدلات ترسيب عالية.
يقلل الضغط المنخفض من فرصة التلوث ويسمح بتحكم أفضل في عملية الترسيب.
كما أنها تتيح ترسيب أفلام ذات ثبات جيد، حيث يتم تقليل تفاعلات الترسيب غير المستقرة في بيئات الضغط العالي إلى الحد الأدنى.
3. التشغيل ثنائي التردد
يمكن أن تعمل تقنية PECVD باستخدام إثارة البلازما ثنائية التردد.
وتعزز هذه التقنية تفكك الغازات المتفاعلة وتعزز معدل الترسيب.
وتسمح العملية ثنائية التردد بالتحكم بشكل أفضل في خصائص البلازما وتتيح معدلات ترسيب أعلى مقارنةً بعمليات التفكيك البوزيتروني القابل للذوبان في البلازما الأخرى.
4. انخفاض درجات حرارة الترسيب
يمكن إجراء عملية التفريد الكهروضوئي القابل للتحويل القابل للتبريد باستخدام الفيديو كود عند درجات حرارة أقل بكثير مقارنةً بعمليات التفريد القابل للتحويل القابل للتبريد التقليدية.
وفي حين تتطلب عمليات التفريغ القابل للتصوير المقطعي بالقنوات CVD القياسية عادةً درجات حرارة تتراوح بين 600 درجة مئوية و800 درجة مئوية، تتراوح درجات حرارة PECVD من درجة حرارة الغرفة إلى 350 درجة مئوية.ويسمح نطاق درجات الحرارة المنخفضة هذا بالتطبيقات الناجحة حيث يمكن أن تؤدي درجات الحرارة المرتفعة إلى تلف الركيزة أو الجهاز الذي يتم طلاؤه.بالإضافة إلى ذلك، يقلل التشغيل في درجات حرارة منخفضة من الضغط بين طبقات الأغشية الرقيقة ذات معاملات التمدد الحراري المختلفة، مما يؤدي إلى ترابط أقوى وأداء كهربائي أفضل.5. التوافق الجيد والتغطية المتدرجة
