درجة الحرارة لها تأثير كبير على عملية الترسيب ونوعية الأغشية الرقيقة المترسبة.
1. درجة حرارة الترسيب:
تشير درجة حرارة الترسيب إلى درجة حرارة الركيزة أثناء عملية الترسيب. تؤدي درجات حرارة الترسيب المرتفعة إلى إنتاج أفلام MoS2 أكثر استقرارًا. يزداد ثبات الفيلم مع درجة حرارة الترسيب، وتعتبر 200 درجة مئوية نقطة انعطاف لثبات الفيلم. تؤثر درجة الحرارة أيضًا على بنية الأغشية، ويرتبط ذلك بشكل رئيسي بالكبريت وآلية نمو الأغشية.
2. درجة حرارة الركيزة:
تؤثر درجة حرارة الركيزة أثناء عملية الترسيب على جودة الفيلم. تساعد زيادة درجة حرارة الركيزة على تعويض الروابط العالقة على سطح الفيلم، مما يؤدي إلى انخفاض كثافة عيوب الفيلم. كلما ارتفعت درجة حرارة الركيزة، زادت كثافة الفيلم، وتم تعزيز تفاعل السطح، مما يحسن تكوين الفيلم.
3. إجهاد الأغشية الرقيقة:
يمكن حساب إجهاد الأغشية الرقيقة المودعة باستخدام الصيغة: σ = E x α x (T - T0)، حيث σ هو إجهاد الفيلم الرقيق، E هو معامل يونغ لمادة الفيلم الرقيق، α هو معامل التمدد الحراري لمادة الأغشية الرقيقة، T هي درجة حرارة الركيزة، وT0 هو معامل التمدد الحراري لمادة الركيزة. تؤثر درجة حرارة الركيزة على الإجهاد في الأغشية الرقيقة.
4. معدل الترسيب:
معدل الترسيب هو المعدل الذي يتم به ترسيب المادة المتناثرة على الركيزة. يؤثر على سمك وتوحيد الأغشية الرقيقة المترسبة. يمكن تحسين معدل الترسيب لتحقيق سمك الفيلم المطلوب والتوحيد.
بالإضافة إلى درجة الحرارة، هناك عوامل أخرى مثل ضغط العمل، وخصائص الالتصاق، وطاقة الربط بين الهدف والركيزة، وطاقة الأنواع المصطدمة، وطاقات تنشيط الامتزاز، والامتزاز، والانتشار الحراري تؤثر أيضًا على كثافة النواة ومتوسط كمية النواة. أثناء عملية الإيداع.
ومن المهم النظر في التلوث أثناء عملية الترسيب. يمكن أن يحدث التلوث من الغازات المتبقية في غرفة الترسيب، والشوائب في المواد المصدر، والملوثات الموجودة على سطح الركيزة. يتطلب تقليل التلوث بيئة ترسيب نظيفة ومواد مصدر عالية النقاء.
يعد توافق الركيزة أمرًا بالغ الأهمية أيضًا. يمكن أن يؤثر اختيار مادة الركيزة على خصائص الطبقة الرقيقة والتصاقها. قد لا تكون بعض عمليات الترسيب متوافقة مع جميع المواد، وقد تخضع بعض المواد لتفاعلات غير مرغوب فيها أثناء عملية الترسيب. من المهم اختيار مادة ركيزة يمكنها تحمل ظروف الترسيب والتفاعل بشكل مناسب مع مادة الغشاء الرقيق.
قم بزيادة ثبات وجودة وتوحيد أفلامك الرقيقة إلى أقصى حد باستخدام معدات المختبرات المتقدمة من KINTEK. تسمح لك أنظمة الترسيب الحديثة لدينا بالتحكم بدقة في درجة حرارة الركيزة، وتحسين الالتصاق، والبلورة، والإجهاد. تحقيق سمك الفيلم المطلوب وتقليل كثافة العيب عن طريق ضبط معدل الترسيب. قم بتعزيز التفاعلات السطحية وتحسين تكوين الفيلم من خلال حلولنا الموثوقة والفعالة. ثق بـ KINTEK لتلبية جميع احتياجاتك من المعدات المعملية واطلق العنان للإمكانات الكاملة لأبحاثك. اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد.
