ينطوي الطلاء بالطباعة بالانبعاثات الكهروضوئية على استخدام غازات مختلفة، وخاصة الغازات النبيلة مثل الأرجون والغازات التفاعلية مثل النيتروجين والأكسجين والميثان. هذه الغازات ضرورية في تشكيل الأغشية الرقيقة ذات الخصائص الفيزيائية والهيكلية والترايبولوجية المحددة.
غاز الأرجون في عملية الاخرق:
الأرغون هو الغاز الأكثر استخدامًا في عملية الاخرق، وهي طريقة ضمن الطلاء بالبطاريات الفائقة البيفودية. ويتم اختيار هذا الغاز النبيل بسبب وزنه الذري، وهو ما يكفي لإزاحة الذرات من المادة المستهدفة دون التفاعل الكيميائي معها. تتضمن عملية الاخرق إطلاق الأيونات على المادة المستهدفة في وسط بلازما، حيث يعمل الأرجون كوسيط يسهل نقل المادة من الهدف إلى الركيزة.الغازات التفاعلية في طلاء PVD:
بالإضافة إلى الغازات النبيلة، يتم إدخال غازات تفاعلية في غرفة التفريغ أثناء ترسيب المعدن. وتشمل هذه الغازات النيتروجين والأكسجين والميثان. ويسمح استخدام هذه الغازات بتكوين تركيبات طلاء مركبة مختلفة، مثل أكاسيد المعادن والنتريدات والكربيدات. على سبيل المثال، عندما تتفاعل أيونات المعادن مع النيتروجين أو الأكسجين أثناء مرحلة النقل، فإنها تشكل النيتريدات أو الأكاسيد، على التوالي، والتي تشتهر بصلابتها ومقاومتها للتآكل.
دور الغازات في طلاء PVD:
