الترسيب الفيزيائي للبخار (PVD) هو عملية تُستخدم لترسيب أغشية رقيقة من المواد على ركيزة من خلال انتقال المواد من أطوارها المكثفة إلى أطوار البخار. تنطوي هذه العملية على ترسيب ذرات أو أيونات أو جزيئات من أنواع الطلاء على ركيزة ما فيزيائيًا، مما يؤدي عادةً إلى ترسيب طبقات من المعادن النقية والسبائك المعدنية والسيراميك بسماكة تتراوح عادةً بين 1 و10 ميكرومتر.
ويمكن تحقيق عملية الترسيب بالطباعة بالانبعاث الطيفي بالرذاذ البفدي من خلال تقنيات ترسيب الأغشية الرقيقة المختلفة، والتي تشترك جميعها في أن الذرات تتم إزالتها من المصدر بوسائل فيزيائية. وإحدى هذه التقنيات هي الترسيب بالرش، حيث يتم إطلاق الذرات من مصدر صلب أو سائل من خلال تبادل الزخم. وتوجد ثلاثة أنواع رئيسية من الترسيب بالترسيب بالانبعاث الكهروضوئي الطفيف الذي يتم في غرفة تحتوي على جو متحكم به عند ضغط منخفض (0.1 إلى 1 نيوتن/م²)، ويمكن استخدام هذه التقنيات للترسيب المباشر للمادة أو للاستخدام "التفاعلي" الذي يحدث فيه تفاعل كيميائي في مرحلة البخار/البلازما بين ذرات مادة الطلاء والغازات "التفاعلية".
في جميع عمليات التبخير بالبطاريق بالانبعاثات الكهروضوئية، تكون المادة التي سيتم إنتاج الغشاء الرقيق منها في البداية في شكل صلب وعادةً ما تكون موجودة في مكان ما في غرفة المعالجة، على سبيل المثال عند الهدف في عملية الرش بالرش. يتم استخدام طرق مختلفة لتبخير المادة (على سبيل المثال، باستخدام نبضة ليزر قصيرة وقوية أو باستخدام قوس أو بواسطة القصف الأيوني أو الإلكتروني) والتي تتكثف بعد ذلك على شكل طبقة رقيقة على سطح الركيزة. وتعتمد الخصائص الفيزيائية للمادة المترسبة على ضغط بخار المواد السليفة.
في تصنيع VLSI، فإن الطريقة الأكثر استخدامًا على نطاق واسع لإنجاز عملية PVD للأغشية الرقيقة هي عن طريق الرش بالرش. تتضمن عملية التفريغ بالطباعة بالرقائق الكهروضوئية عن طريق الرش بالرش التسلسل التالي من الخطوات: 1) يتم تحويل المادة المراد ترسيبها إلى بخار بوسائل فيزيائية؛ 2) يتم نقل البخار عبر منطقة ذات ضغط منخفض من مصدرها إلى الركيزة؛ 3) يخضع البخار للتكثيف على الركيزة لتشكيل الطبقة الرقيقة.
أطلق العنان لإمكانات المواد المتقدمة مع تقنية الترسيب الفيزيائي للبخار (PVD) المتطورة من KINTEK SOLUTION! اختبر دقة وكفاءة ترسيب الرذاذ وطرق الترسيب الفيزيائي بالبخار (PVD) الأخرى المصممة للنقاء والأداء. ارتقِ بتطبيقاتك للأغشية الرقيقة إلى آفاق جديدة من خلال مجموعتنا القوية من حلول الترسيب. استكشف مخزوننا الواسع واكتشف كيف يمكن ل KINTEK SOLUTION دفع ابتكارك التالي إلى الأمام! تسوق اليوم وقم بتحويل عملية ترسيب المواد الخاصة بك.
