ويكمن الفرق الأساسي بين بلازما التردد اللاسلكي وبلازما التيار المباشر في خصائصهما التشغيلية وأنواع المواد التي يمكنهما معالجتها بفعالية. تعمل بلازما التردد اللاسلكي عند ضغوط منخفضة ويمكنها التعامل مع كل من المواد المستهدفة الموصلة والعازلة، بينما تتطلب بلازما التيار المستمر ضغوطًا أعلى وتستخدم بشكل أساسي مع المواد الموصلة.
الضغط التشغيلي:
يمكن أن تحافظ بلازما التردد اللاسلكي على بلازما غازية عند ضغط أقل بكثير من ضغط الغرفة، وعادةً ما يكون أقل من 15 ملي متر مكعب. ويقلل هذا الضغط المنخفض من عدد التصادمات بين جسيمات البلازما المشحونة والمواد المستهدفة، مما يوفر مسارًا مباشرًا أكثر إلى هدف الرش. وعلى النقيض من ذلك، تتطلب بلازما التيار المستمر ضغطًا أعلى يبلغ حوالي 100 مليتورتر، مما قد يؤدي إلى تصادمات أكثر تواترًا وربما ترسيب أقل كفاءة للمواد.التعامل مع المواد المستهدفة:
أنظمة الترددات اللاسلكية متعددة الاستخدامات حيث يمكنها العمل مع كل من المواد المستهدفة الموصلة والعازلة. ويرجع ذلك إلى أن المجال الكهربائي المتذبذب للترددات الراديوية يمنع تراكم الشحنات على الهدف، وهي مشكلة شائعة مع أنظمة التيار المستمر عند استخدامها مع المواد العازلة. في الاخرق بالتيار المستمر، يمكن أن يؤدي تراكم الشحنة إلى حدوث تقوس كهربائي، مما يضر بالعملية. ولذلك، يُفضل استخدام الاخرق بالترددات اللاسلكية عند التعامل مع المواد غير الموصلة.
مزايا الصيانة والتشغيل:
توفر أنظمة الترددات اللاسلكية، وخاصة تلك التي لا تحتوي على أقطاب كهربائية مثل طلاء البلازما بالترددات اللاسلكية (ECR) مثل طلاء البلازما بالرنين السيكلوتروني الإلكتروني، أوقات تشغيل طويلة دون الحاجة إلى فواصل صيانة. ويرجع ذلك إلى عدم الحاجة إلى استبدال الأقطاب الكهربائية، على عكس الأنظمة التي تستخدم التيار المباشر. ويُفضَّل استخدام أنظمة الترددات اللاسلكية أو أنظمة الموجات الدقيقة (التي تعمل بتردد 13.56 ميغاهيرتز و2.45 غيغاهيرتز على التوالي) بسبب موثوقيتها وتقليل وقت التوقف عن العمل.
تكوين البلازما واستقرارها:
