إن تأثير الركيزة على الأغشية الرقيقة مهم ومتعدد الأوجه، حيث يؤثر على جوانب مختلفة من خصائص الفيلم وأدائه. لا توفر الركيزة سطحًا لترسيب الفيلم فحسب، بل تتفاعل أيضًا مع الفيلم أثناء الترسيب وبعده، مما يؤثر على بنيته وجودته ووظائفه.
1. التأثير على نمو الفيلم وجودته:
تلعب الركيزة دورًا حاسمًا في المراحل الأولية لنمو الغشاء الرقيق، خاصة أثناء التنوي والمراحل المبكرة من تكوين الفيلم. يمكن للتفاعل بين الركيزة وذرات الترسيب أن يؤثر على البنية المجهرية للفيلم والالتصاق. على سبيل المثال، يمكن أن يؤدي تأين الغاز الخامل وتغلغل البلازما حول الركيزة إلى قصف أيوني، مما يعزز جودة الفيلم الرقيق من خلال تعزيز التصاق أفضل وتعبئة أكثر كثافة للذرات. يمكن أن تؤثر خصائص الركيزة، مثل التركيب الكيميائي وخشونة السطح ودرجة الحرارة، بشكل كبير على عمليات التنوي والنمو، مما يؤدي إلى اختلافات في خصائص الفيلم.2. التأثير على خصائص الفيلم:
يمكن أن تؤثر الركيزة أيضًا على الخواص الكهربائية والبصرية والميكانيكية للفيلم الرقيق. على سبيل المثال، يمكن أن تتأثر الموصلية الكهربائية للفيلم الرقيق بالركيزة من خلال تأثير الحجم، حيث يمكن أن يقلل متوسط المسار الحر الأقصر لحاملات الشحنة في الفيلم الرقيق، بالإضافة إلى زيادة التشتت من العيوب وحدود الحبيبات من الموصلية. ويكون هذا التأثير واضحًا بشكل خاص عندما تُدخل الركيزة مراكز تشتت إضافية أو تُعدِّل البنية المجهرية للفيلم.
3. الدور في عمليات الترسيب:
يمكن أن يحدد اختيار الركيزة وخصائصها تقنيات الترسيب والمعايير الأكثر فعالية. على سبيل المثال، يعد معدل الترسيب ودرجة حرارة الركيزة من المعلمات الحرجة التي يجب التحكم فيها بعناية لضمان سمك موحد للفيلم وخصائص الفيلم المطلوبة. يمكن أن تؤثر درجة حرارة الركيزة، على وجه الخصوص، على حركة الأنواع الممتزة على السطح، مما يؤثر على وضع نمو الفيلم وهيكله. في بعض الحالات، قد يكون من الضروري تسخين الركيزة أو تبريدها لتحسين خصائص الفيلم، مما يسلط الضوء على الدور النشط الذي تلعبه الركيزة في عملية الترسيب.
4. تحسين خصائص السطح:
