نعم، يعتبر التفريغ شرطًا من شروط CVD.
ملخص:
يعد التفريغ بالفعل شرطًا لعمليات الترسيب الكيميائي للبخار (CVD)، على الرغم من أن مستوى التفريغ يمكن أن يختلف اعتمادًا على نوع معين من التفريغ باستخدام CVD. تُصنف عمليات الترسيب بالبخار القابل للتفريغ CVD إلى CVD بالضغط الجوي (APCVD)، و CVD بالضغط المنخفض CVD (LPCVD)، و CVD بالتفريغ الفائق CVD (UHVCVD)، مما يشير إلى مستويات مختلفة من متطلبات التفريغ.
-
الشرح:CVD بالضغط الجوي (APCVD):
-
تعمل هذه الطريقة عند الضغط الجوي، وهو أدنى مستوى من التفريغ بين تقنيات التفريغ القابل للتحويل إلى شحنات (CVD). ومع ذلك، فإنها لا تزال تتطلب بيئة محكومة لمنع التلوث وضمان جودة الترسيب.تقنية CVD منخفضة الضغط (LPCVD):
-
تعمل تقنية LPCVD عند ضغط أقل بكثير من الظروف الجوية. هذا الضغط المنخفض ضروري لزيادة متوسط المسار الحر للغازات المتفاعلة، مما يسمح بتفاعلات أكثر اتساقًا ويمكن التحكم فيها على سطح الركيزة. ويساعد التفريغ في تقنية LPCVD على تقليل التلوث الغازي ويعزز نقاء عملية الترسيب.التفريغ فائق التفريغ بتقنية CVD (UHVCVD):
تتطلب هذه التقنية أعلى مستوى من التفريغ. وتُعد بيئة التفريغ فائق التفريغ ضرورية لتحقيق نقاء عالٍ للغاية وتحكم دقيق في عملية الترسيب. وهذا مهم بشكل خاص للتطبيقات التي تتطلب أفلامًا عالية الجودة للغاية، كما هو الحال في تصنيع أشباه الموصلات.تصحيح:
يشير المرجع إلى أن التفريغ القابل للقنوات CVD يلغي الحاجة إلى مضخات التفريغ العالي مقارنةً بالترسيب بالبطاريات البفديوية البصرية. هذه العبارة مضللة لأنها تعني ضمنيًا أن تقنية CVD لا تتطلب تفريغ الهواء، وهو أمر غير صحيح. بينما يمكن أن تعمل تقنية التفريغ القابل للقنوات القلبية الوسيطة تحت ضغط أعلى من تقنية التفريغ بالبطاريات البولي فينيل كربونات، إلا أنها لا تزال تتطلب بيئة تفريغ، وإن كان ذلك بمستويات مختلفة اعتمادًا على تقنية التفريغ القابل للقنوات القلبية الوسيطة المستخدمة.
الخلاصة:
