تشمل أجزاء ترسيب البخار الكيميائي ما يلي:
1. نظام توصيل الغاز: وهو المسؤول عن توصيل الغازات الأولية إلى غرفة المفاعل. يجب أن تكون السلائف المستخدمة في الأمراض القلبية الوعائية متطايرة ومستقرة بدرجة كافية ليتم نقلها إلى المفاعل.
2. غرفة المفاعل: حيث تتم عملية الأمراض القلبية الوعائية. إنه مصمم لتوفير الظروف اللازمة لترسيب الأغشية الرقيقة أو الطلاءات. قد تشتمل الغرفة على ميزات مثل عناصر التسخين أو مصادر البلازما لتسهيل التفاعلات المطلوبة.
3. مصدر الطاقة: يستخدم لتوفير الطاقة اللازمة لحدوث التفاعلات الكيميائية. يمكن أن يكون على شكل حرارة أو بلازما أو مصادر طاقة أخرى اعتمادًا على عملية الأمراض القلبية الوعائية المحددة.
4. نظام التفريغ: يتم استخدام نظام التفريغ لخلق والحفاظ على ظروف الضغط المطلوبة داخل غرفة المفاعل. وهذا أمر مهم للتحكم في تدفق الغاز وضمان جودة الأفلام المودعة.
5. نظام العادم: هذا النظام مسؤول عن إزالة المنتجات الثانوية والغازات غير المتفاعلة من غرفة المفاعل. فهو يساعد على الحفاظ على بيئة نظيفة ومراقبة داخل الغرفة.
تشتمل المكونات الأخرى التي قد تكون موجودة في نظام CVD على نظام التحميل/التفريغ للركائز، ونظام التحكم الآلي في العملية لرصد ومراقبة معلمات العملية، ونظام معالجة غاز العادم للتعامل مع غازات النفايات المتولدة أثناء عملية الترسيب.
بشكل عام، تعمل المكونات المختلفة لنظام CVD معًا لتمكين نقل الغازات الأولية، وترسيب الأغشية الرقيقة أو الطلاءات على الركيزة، وإزالة المنتجات الثانوية وغازات النفايات.
هل تبحث عن معدات مختبرية عالية الجودة لترسيب الأبخرة الكيميائية (CVD)؟ لا تنظر أبعد من KINTEK! نحن نقدم مجموعة واسعة من معدات الأمراض القلبية الوعائية، بما في ذلك أنظمة توصيل الغاز، وغرف المفاعلات، ومصادر الطاقة، وأنظمة التفريغ، وأنظمة العادم. تم تصميم منتجاتنا لتقديم عمليات CVD دقيقة وفعالة، مما يضمن النمو الأمثل للفيلم. اتصل بنا اليوم لترقية مختبرك بأحدث معدات الأمراض القلبية الوعائية من KINTEK!
