يمكن أن يختلف ضغط ترسيب البخار الكيميائي (CVD) اعتمادًا على الطريقة المحددة المستخدمة.
في نمو الماس CVD، تحدث العملية عادةً تحت ضغط منخفض، يتراوح من 1 إلى 27 كيلو باسكال (0.145 إلى 3.926 رطل لكل بوصة مربعة؛ 7.5 إلى 203 تور). تسمح بيئة الضغط المنخفض هذه بتغذية الغازات في الغرفة، والتي يتم تنشيطها بعد ذلك لتوفير الظروف اللازمة لنمو الماس على الركيزة.
يعد ترسيب البخار الكيميائي منخفض الضغط (LPCVD) طريقة أخرى تستخدم في علاج الأمراض القلبية الوعائية. يتم إجراؤه عند ضغوط تتراوح من 0.1 إلى 10 تور ودرجات حرارة تتراوح من 200 إلى 800 درجة مئوية. يتضمن LPCVD إضافة المواد المتفاعلة إلى الغرفة باستخدام رأس دش متخصص لنظام توصيل السلائف. يتم تبريد جدران الغرفة ورأس الدش، بينما يتم تسخين الركيزة. وهذا يعزز ردود الفعل السطحية غير المتجانسة. بمجرد اكتمال التفاعل، تتم إزالة المنتجات الثانوية باستخدام مضخات التفريغ.
ترسيب البخار الكيميائي المعزز بالبلازما (PECVD) هو شكل آخر من أشكال الأمراض القلبية الوعائية يستخدم البلازما لتوفير الطاقة اللازمة لعملية الترسيب. يتم إجراء PECVD عند ضغوط تتراوح بين 2-10 تور ودرجات حرارة منخفضة نسبيًا تتراوح بين 200-400 درجة مئوية. تُستخدم الطاقة الكهربائية لتكوين بلازما غازية محايدة، مما يسهل التفاعلات الكيميائية التي تؤدي إلى الترسيب.
تشمل الأشكال الأخرى من الأمراض القلبية الوعائية HDP CVD وSACVD. يستخدم HDP CVD بلازما ذات كثافة أعلى، مما يسمح بترسيب درجة حرارة أقل (بين 80-150 درجة مئوية) داخل الغرفة. من ناحية أخرى، يحدث SACVD تحت ضغط الغرفة القياسي ويستخدم الأوزون (O3) لتحفيز التفاعل. يقع ضغط SACVD بين حوالي 13300-80000 باسكال، مع معدل ترسب مرتفع يتحسن مع زيادة درجة الحرارة حتى حوالي 490 درجة مئوية.
بشكل عام، يمكن أن يختلف ضغط ترسيب البخار الكيميائي اعتمادًا على الطريقة المحددة المستخدمة، بدءًا من الضغوط المنخفضة التي تبلغ بضعة تور إلى الضغوط الأعلى التي تصل إلى آلاف باسكال.
هل تبحث عن معدات مختبرية موثوقة لترسيب الأبخرة الكيميائية (CVD)؟ لا تنظر أبعد من KINTEK! تم تصميم أجهزتنا المتطورة لتوفير بيئات ضغط منخفض دقيقة ومتسقة، مما يضمن نموًا وترسيبًا فائقًا للألماس. من خلال خيارات LPCVD وPECVD، يمكنك تحقيق أفضل النتائج دون المساس بالتحكم في التفاعل أو التجانس. ثق بـ KINTEK لجميع احتياجاتك من الأمراض القلبية الوعائية. اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد!
