عادةً ما يكون معدل الترسيب في الترسيب الكيميائي للبخار (CVD) بطيئًا، وعادةً ما يكون في حدود بضع مئات من الميكرونات في الساعة. ويتأثر هذا المعدل بعدة عوامل بما في ذلك درجة حرارة الغرفة، ونقاء السلائف، ومعدل تدفق السلائف إلى الغرفة.
شرح مفصل:
-
طبيعة الترسيب بالترسيب بالقطع القابل للذوبان:
-
CVD هي عملية تتفاعل فيها غازات السلائف لتكوين رواسب غشاء على الركيزة. تنطوي العملية على استخدام نظام توصيل الغازات لتزويد غازات السلائف في غرفة المفاعل. وتتفاعل الغازات تحت ظروف درجة حرارة وضغط مضبوطة في ظروف حرارة وضغط مضبوطة، وعادةً ما يكون ذلك عند الضغط الجوي أو أقل قليلاً. ويحدث الترسيب عندما تتدفق الغازات فوق الركيزة، مما يشكل طبقة حدية حيث تنخفض سرعة الغاز إلى الصفر، مما يسهل ترسيب الفيلم.معدل الترسيب:
-
- يتأثر معدل الترسيب في CVD بعمليات النقل الحركي والكتلي التي تحدث داخل المفاعل. ويلعب كل من التحكم الحركي، الذي يكون أكثر فعالية في درجات الحرارة المنخفضة، والتحكم في الانتشار، الذي يكون أكثر فعالية في درجات الحرارة المرتفعة، دورًا في تحديد معدل ترسيب الفيلم. يشير المعدل النموذجي الذي يبلغ بضع مئات من الميكرونات في الساعة إلى عملية بطيئة ومضبوطة، وهو أمر ضروري لتحقيق الخصائص المرغوبة للطلاءات التي يتم ترسيبها بالترسيب بالقطع القابل للذوبان بالقنوات القلبية المركزية، مثل حجم الحبيبات الدقيقة وعدم النفاذية والنقاء العالي والصلابة.العوامل المؤثرة على معدل الترسيب:
- درجة الحرارة: تُعد درجة حرارة الحجرة بالغة الأهمية لأنها تؤثر على تفاعل الغازات السليفة ومعدل تحللها أو تفاعلها لتشكيل الطبقة المرغوبة. يمكن أن تؤدي درجات الحرارة المرتفعة إلى زيادة معدل التفاعل ولكن يجب موازنتها مع الحاجة إلى الحفاظ على سلامة الطلاء وخصائصه المرغوبة.
- نقاء السلائف: يؤثر نقاء غازات السلائف بشكل مباشر على جودة الطلاءات ومعدل ترسيبها. يمكن أن تتداخل الشوائب مع التفاعلات، مما يؤدي إلى تباطؤ معدلات الترسيب أو الطلاءات ذات الخصائص غير المرغوبة.
-
معدل تدفق السلائف: يؤثر معدل إدخال غازات السلائف في الغرفة أيضًا على معدل الترسيب. تضمن معدلات التدفق المثلى توزيع الغازات بشكل موحد على الركيزة، مما يسهل عملية ترسيب متسقة ومضبوطة.
أهمية معدل الترسيب البطيء:
