ما هو ضغط ترسيب البخار الكيميائي؟تحسين جودة الفيلم ومعدلات الترسيب
تعرّف على كيفية تأثير الضغط في عملية التفحيم بالتقنية CVD على جودة الفيلم ومعدلات الترسيب والبنية المجهرية.اكتشف نطاقات الضغط المثلى للتفريد بالتقنية الطيفي بالديود منخفض الكثافة (LPCVD) والتحميض بالتقنية الطيفي المتقدم (APCVD) والتحميض بالتقنية الطيفي المتقدم (PECVD).